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J-GLOBAL ID：202102224298151509   整理番号：21A0143204

ナノインプリントにおける様々な要素技術

著者 (1件)： 大井秀雄 (協同インターナショナル)
資料名： 光技術コンタクト  (Optical and Electro-Optical Engineering Contact)
巻： 58  号： 12  ページ： 14-20  発行年： 2020年12月20日 
JST資料番号： S0624A  ISSN： 0913-7289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・ナノインプリントには,「モールド」,「離型処理」,「モールド複製」,「モールド洗浄」,「転写材料」,「転写装置」など様々な要素技術が存在。
・モールドの作製や販売,および受託のナノインプリントを通じて様々なアプリケーションに対応した試作を実施。
・本稿では,モノづくりの視点において,ナノインプリントの要素技術について解説。
・ナノインプリントの原理を述べ,モールドの製造の方法を示し,シリコンモールド,ニッケルモールド,石英モールド,樹脂モールドなどを説明。
・転写装置と部材の調達だけでは,ナノインプリントのモノづくりが難しいことから,要素技術は,どれも等しく重要であることを強調。

シソーラス用語： *パターン転写 ,  *押付成形 ,  パターン形成 ,  微細加工 ,  技術開発 ,  ケイ素 ,  ニッケル ,  造型機
準シソーラス用語： *ナノインプリント ,  物作り ,  要素技術

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： ナノインプリント ,  要素技術