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J-GLOBAL ID：202102224328841876   整理番号：21A1623753

前爆発水素濃度の検出のための二酸化すず薄膜に基づくセンサ【JST・京大機械翻訳】

Sensors based on tin dioxide thin films for the detection of pre-explosive hydrogen concentrations

著者 (12件)： Maksimova N.K. (National Research Tomsk State University, V.D. Kuznetsov Siberian Physical Technical Institute, 1 Novosobornaja Square, Tomsk, 634050, Russia) ,  Sevastyanov E.Y. (National Research Tomsk State University, V.D. Kuznetsov Siberian Physical Technical Institute, 1 Novosobornaja Square, Tomsk, 634050, Russia) ,  Chernikov E.V. (National Research Tomsk State University, V.D. Kuznetsov Siberian Physical Technical Institute, 1 Novosobornaja Square, Tomsk, 634050, Russia) ,  Korusenko P.M. (St. Petersburg State University, 7/9 Universitetskaya nab., Saint Petersburg, 199034, Russia) ,  Korusenko P.M. (Omsk State Technical University, 11 Mira Avenue, Omsk, 644050, Russia) ,  Nesov S.N. (Omsk State Technical University, 11 Mira Avenue, Omsk, 644050, Russia) ,  Kim S.V. (National Research Tomsk State University, V.D. Kuznetsov Siberian Physical Technical Institute, 1 Novosobornaja Square, Tomsk, 634050, Russia) ,  Biryukov A.A. (National Research Tomsk State University, V.D. Kuznetsov Siberian Physical Technical Institute, 1 Novosobornaja Square, Tomsk, 634050, Russia) ,  Sergeychenko N.V. (National Research Tomsk State University, V.D. Kuznetsov Siberian Physical Technical Institute, 1 Novosobornaja Square, Tomsk, 634050, Russia) ,  Davletkildeev N.A. (Omsk Scientific Center of SB RAS, 15 Karl Marx Avenue, Omsk, 644024, Russia) ,  Davletkildeev N.A. (Dostoevsky Omsk State University, 55a Mira Avenue, Omsk, 644077, Russia) ,  Sokolov D.V. (Omsk Scientific Center of SB RAS, 15 Karl Marx Avenue, Omsk, 644024, Russia)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 341  ページ： Null  発行年： 2021年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,高い選択性と安定性を有するH_2(0.1~2.5vol%)の高い予備爆発濃度を検出する新しい半導体センサを開発した。センサは,表面上に析出した分散PtとPd層のマグネトロンスパッタリングにより作製された薄い(~100nm)ナノ結晶SnO_2膜と,バルク中に13~14at%Ptを添加した。それらのナノ構造,組成,電気的性質,およびガス感受性特性を研究した。X線光電子とRaman分光法は,Pt/Pd/SnO_2:Sb中でのアニーリングの安定化過程で,Pt膜白金がPt°金属クラスタと分散Pt2+イオンの形でSnO_2微結晶の表面に偏析することを明らかにした。分散したPt2+イオンは格子酸素と結合を形成し,伝導チャネルの重なりに寄与する。Tan1=723KとTan2=873Kでアニーリングしたセンサでは,低(n<0.1vol%)H_2濃度の作用下で最適状況を実現し,条件2d_0=d_Mは満足され,G_1/G_0=9-12であった。0.1~2.5vol%H_2の範囲では,空間電荷領域の狭まりは伝導層の生成に有利であり,2d_0≦d_Mでは,2.5vol%でG_1/G_0=220-250に対する応答値の急激な増加があった。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 焼なまし ,  *薄膜 ,  偏析 ,  電気的性質 ,  白金 ,  パラジウム ,  空乏層 ,  X線光電子分光法 ,  Raman分光法 ,  ナノ構造 ,  光電子 ,  金属クラスタ ,  ナノ結晶
準シソーラス用語： *二酸化スズ ,  半導体センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 薄膜 ,  二酸化すず(SnO_2) ,  水素センサ ,  白金 ,  センサパラメータの安定性 ,  Raman分光法 ,  X線光電子分光法

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 爆発 ,  水素濃度 ,  二酸化すず ,  薄膜