文献

J-GLOBAL ID：202102224616003100   整理番号：21A0298428

エキシマレーザ用の高精度エネルギー検出器の線形性推定【JST・京大機械翻訳】

Linearity estimation of high accurate energy detector for excimer laser

著者 (10件)： Xie Chengke (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Xie Chengke (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Chen Ming (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Chen Ming (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Zhu Jing (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Zhu Jing (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Yang Baoxi (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Yang Baoxi (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Huang Huijie (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China) ,  Huang Huijie (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 126  号： 7-8  ページ： 817-820  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エキシマレーザのための高精度パルスエネルギー検出は,正確な線量制御のための深紫外(DUV)リソグラフィーマシンにおける最も重要な技術の1つである。SIOM固有エネルギー検出器(ED)の線形性を推定するために,修正相関法と対応するシステムを開発した。提案した方法では,同一の自家製EDを,パルスエネルギー変動除去としての利点を示す実験システムにおける参照として用いた。第二に,この方法は,試験検出器と同じである参照検出器による高精度測定の解決策を提供する。線形性推定システムはエキサイマレーザ,ビーム膨張機,可調整ダイヤフラム,ビームスプリッタ,参照ED(R-ED),減衰器セットおよび試験ED(T-ED)を含む。実験結果は,線形最小二乗フィッティングによって,EDの測定した非線形性係数は,パルスあたり約1~10nJの動的範囲で0.617%であり,そして,複合不確実性は1.140%であることを示した。SIOM専用EDはエキシマレーザの高精度パルスエネルギー測定に使用できることを証明した。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最小二乗法 ,  不確実性 ,  減衰器 ,  放射線量 ,  ダイヤフラム ,  線形性 ,  非線形性 ,  パルス ,  ビームスプリッタ ,  検出器 ,  ダイナミックレンジ ,  *エキシマレーザ
準シソーラス用語： 深紫外線 ,  高精度 ,  膨張機 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 光学的測定 ,  エネルギー検出器 ,  直線性

分類 (2件)： レーザ一般  (BD04030T) ,  固体レーザ  (BD04080W)

タイトルに関連する用語 (4件)： エキシマレーザ ,  エネルギー検出器 ,  線形性 ,  推定