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J-GLOBAL ID：202102224909893354   整理番号：21A0137807

純アルミニウムの表面に及ぼすNa₂SO₄電解還元水の影響

Influence of Na₂SO₄-Electrolyzed Reduced Water on the Surface of Pure Aluminum

著者 (2件)： 佐藤運海 (信州大学教育学部) ,  川久保英樹 (信州大学教育学部)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 86  号： 11  ページ： 879-884(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本文は,純アルミニウムに及ぼすNa₂SO₄電解還元水(以下,ER水という)の影響について述べた。最初に,純アルミニウムの表面上のNa₂SO₄ER水のエッチング作用を,浸漬を用いたエッチング試験により明らかにした。比較研究では,エッチング作用において,Na₂SO₄ER水は化学溶液またはNa₂SO₄電解酸化水よりも優れており,電解電流値が強くなるほど,Na₂SO₄ER水のエッチング作用が強くなることを示した。次に,FE-SEM画像を用いた観察により,純アルミニウム表面の微細形状に及ぼすNa₂SO₄ER水の影響を明らかにした。その結果,Na₂SO₄ER水による試料片の微細形状とNaOH溶液によるものとの間に差はなく,いずれの場合も試料片の表面に異物が現れることがわかった。最後に,EDSを用いた表面の分析により,試料片の表面の化学組成に対するNa₂SO₄ER水の影響を明らかにした。結果は,Na₂SO₄ER水とNaOH溶液が同様のレベルであることを示した。この研究により,純アルミニウムのエッチングなどの表面処理にNa₂SO₄ER水を適用できるという示唆を得た。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *アルミニウム ,  純金属 ,  *電解エッチング ,  硫酸ナトリウム ,  水 ,  浸漬試験 ,  電解電流 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  形態 ,  試験片 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  化学組成 ,  水酸化ナトリウム
準シソーラス用語： EDS【分光分析】 ,  FE-SEM ,  *純アルミニウム ,  走査電子顕微鏡観察 ,  *電解還元水 ,  電解酸化水 ,  微細形状 ,  表面形状

著者キーワード (12件)： 純アルミニウム ,  Na_2SO_4電解還元水 ,  エッチング性能 ,  表面形状 ,  化学 ,  組成 ,  純アルミニウム ,  Na_2SO_4電解還元水 ,  エッチング性能 ,  表面形状 ,  化学 ,  組成

分類 (1件)： その他の表面処理  (WC08070F)

引用文献 (19件)：

• 1) 小川真一: 高信頼性化のためのアルミニウム配線材料の進展, まてりあ, 36, 6 (1997) 561.
• 2) 日野出憲治: LSIアルミニウム配線のエレクトロマイグレーション, まてりあ, 36, 6 (1997) 571.
• 3) 木村裕一: PC用ヒートシンクの動向, 伝熱, 44, 186 (2005) 30.
• 4) 望月正孝: ヒートパイプ/ベーパチャンバーによるPCの冷却技術, 伝熱, 44, 186 (2005) 10.
• 5) 櫻井健夫: 自動車部品用アルミニウム合金の開発動向, 軽金属, 68, 9 (2018) 487.

タイトルに関連する用語 (3件)： 純アルミニウム ,  Na2SO4 ,  電解還元水