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J-GLOBAL ID：202102225385936540   整理番号：21A0444581

高スループットセル計数を実現する垂直スルーホールの製作【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of vertical through-holes to realize high throughput cell counting

著者 (2件)： Chen Yu (Institute of Microelectronics, A-STAR,Singapore,138634) ,  Chen Ming-Yuan (Institute of Microelectronics, A-STAR,Singapore,138634)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： EPTC  ページ： 189-193  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の生物医学的応用に対して,高スループット細胞計数とサイジングが望まれる。以前に,低コストにおいてそのような要求を実現するためのマイクロマシン多重チャネルCoulterカウンターデバイスを報告した。デバイスのスループットをさらに拡張するために,2Dアレイを開発し,各マイクロチャネル(垂直スルーホール)は独立した流体パスを持つべきである。本論文では,垂直スルーホールアレイチップを作製するプロセスフローを示した。全製造プロセスはCMOS(相補的金属-オキシド-半導体)適合性である。増強されたスループットと感度を,緩衝溶液中の様々なサイズのセルを測定することによって実証した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 半導体 ,  酸化物 ,  サイジング ,  適応性 ,  二次元 ,  *スループット ,  細胞計数 ,  生産工程 ,  マイクロマシン ,  スルーホール ,  マイクロチャネル ,  CMOS
準シソーラス用語： マルチチャネル ,  *ハイスループット ,  生物医学的応用 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高スループット ,  セル ,  計数 ,  垂直 ,  スルーホール ,  製作