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J-GLOBAL ID：202102225504405235   整理番号：21A2039662

自動チューニング交差結合2DOF PID制御アプローチを用いたリニアモータ駆動X-Yステージの輪郭追跡制御【JST・京大機械翻訳】

Contour Tracking Control of a Linear Motors-Driven X-Y-Y Stage Using Auto-Tuning Cross-Coupled 2DOF PID Control Approach

著者 (4件)： Chen Syuan-Yi ,  Chien Zi-Jie ,  Wang Wei-Yen ,  Chiang Hsin-Han
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 10  号： 24  ページ： 9036  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： リニアモータ(LM)は,正確な高速運動が,スイッチングメカニズムの必要なしに線形作動に電気エネルギーを変換するために必要とされる多数の産業自動化で広く使用されている。本研究は,LMs駆動X-Yステージの極めて高精度な輪郭制御を達成するために,自己同調交差結合2自由度比例積分微分(ACC2PID)の制御戦略を開発することを目的とする。3つの2PID制御装置を開発し,個々の軸のmover位置を制御し,一方,2つの補償器を設計し,2軸運動における輪郭誤差を除去した。さらに,改良人工ハチコロニーアルゴリズムを強力な最適化技術として採用して,すべての制御パラメータをオンラインで評価して最適化して,提案した制御装置の非脆弱さを確実にした。この方法で,各軸の追跡誤差と2軸運動の輪郭誤差を同時に最小化することができ,さらに,満足な位置決め精度と同期性能を達成できる。最後に,実験的比較結果は,高度に不確実で非線形のLMs駆動X-Yステージの多軸輪郭追跡制御に関する提案したACC2PID制御システムの有効性を確認した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  自動化 ,  制御装置 ,  不確実性 ,  最適化手法 ,  *リニアモータ ,  微分 ,  補償装置 ,  多軸 ,  二軸 ,  自由度
準シソーラス用語： *交差結合 ,  *自動チューニング ,  オンライン ,  制御戦略 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： リニアモータ同期制御 ,  位置追跡精度 ,  輪郭運動制御 ,  人工蜂コロニー(ABC) ,  2自由度PIDコントローラ

分類 (4件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  電動機  (NB07030U)

引用文献 (31件)：

• Liu, Y.; Xu, X.; Chen, Z.; Tan, J. RBFNN based linear motor cogging force identification for lithography machines. IFAC-PapersOnLine 2015, 48, 650-655.
• Yang, J.; Chen, Y.; Chen, Y.; Zhang, D. A tool path generation and contour error estimation method for four-axis serial machines. Mechatronics 2015, 31, 78-88.
• Gordon, D.J.; Erkormaz, K. Precision control of a T-type gantry using sensor/actuator averaging and active vibration damping. Precis. Eng. 2012, 36, 299-314.
• Huang, S.; Tan, K.K.; Xiao, M. Automated fault diagnosis and accommodation control for mechanical systems. IEEE/ASME Trans. Mechatron. 2015, 20, 155-165.
• Sun, G.; Wu, L.; Kuang, Z.; Ma, Z.; Liu, J. Practical tracking control of linear motor via fractional-order sliding mode. Automatica 2018, 94, 221-235.

タイトルに関連する用語 (7件)： 自動チューニング ,  交差結合 ,  2DOF ,  PID制御 ,  リニアモータ駆動 ,  X-Yステージ ,  輪郭追跡