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J-GLOBAL ID：202102226064956036   整理番号：21A0150052

SAWデバイスのためのALN/SI基板に基づくIDT構造最適化設計【JST・京大機械翻訳】

IDT Structure Optimization Design based on ALN/SI Substrate for Saw Devices

著者 (7件)： Li Kaixuan (Tianjin Key Laboratory of Film Electronic & Communication Devices, School of Electrical & Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin,China,300384) ,  Wang Fang (Tianjin Key Laboratory of Film Electronic & Communication Devices, School of Electrical & Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin,China,300384) ,  Yan Shuo (Tianjin Key Laboratory of Film Electronic & Communication Devices, School of Electrical & Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin,China,300384) ,  Deng Meng (Tianjin Key Laboratory of Film Electronic & Communication Devices, School of Electrical & Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin,China,300384) ,  Di Huanhuan (Tianjin Key Laboratory of Film Electronic & Communication Devices, School of Electrical & Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin,China,300384) ,  Li Wei (Tianjin Key Laboratory of Film Electronic & Communication Devices, School of Electrical & Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin,China,300384) ,  Zhang Kailiang (Tianjin Key Laboratory of Film Electronic & Communication Devices, School of Electrical & Electronic Engineering, Tianjin University of Technology,Tianjin,China,300384)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： CSTIC  ページ： 1-3  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,良好な圧電特性を有する窒化アルミニウム(A1N)膜を,圧電層としてシリコン(Si)基板上に成長させ,異なるインターデジタル変換器(IDT)構造を有する表面音響波(SAW)デバイスの特性を,Rectangle関数,Hanning関数およびKaiser関数を用いて研究した。MATLABとe-LINE+ソフトウェアを用いて,レイアウトファイルを迅速かつ正確に生成した。300nmの指幅を有する装置を,室温で試験し,そして,結果は,Kaiser関数構造を有するデバイスが,より良い共振波形を示し,中心周波数が4.94GHzまで,サイドローブの抑制度が,明らかに,43.53dBまで増加して,挿入損失が,-5.87dBであることを示した。本研究は,高性能表面音響波デバイスの設計および研究において,活発な役割を演ずる。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 共振 ,  最適設計 ,  圧電気 ,  弾性表面波 ,  挿入損 ,  *弾性表面波素子 ,  ソフトウェア ,  サイドローブ ,  窒化アルミニウム
準シソーラス用語： 圧電特性 ,  MATLAB ,  中心周波数 ,  ディジタル変換 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： SAWデバイス ,  AlN ,  Si基板 ,  IDT ,  構造最適化 ,  設計