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J-GLOBAL ID：202102226307845954   整理番号：21A0240955

環状サブ開口ステッチング干渉法における横方向変位誤差に起因する形状偏差【JST・京大機械翻訳】

Form deviations caused by lateral displacement errors in annular subaperture stitching interferometry

著者 (3件)： Schake Markus (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig, Germany) ,  Riebeling Jorg (Universitaet Kassel, FB 16 Elektrotechnik/Informatik Messtechnik, Kassel, Germany) ,  Ehret Gerd (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig, Germany)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 59  号： 12  ページ： 124105  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 要約。アンヌラサブ開口ステッチング干渉法(ASSI)は,非球面表面の測定に対する一般的な方法である。ASSIの一般的障害物は,センサまたは試験片がサブ開口測定の間に再配置されたとき,横方向変位誤差の発生である。統計的変位誤差のモデリングに焦点を当てた。仮想実験を,検索された表面形状への累積的および大域的ステッチングアルゴリズムを通して変位誤差の伝播をシミュレーションすることを提示した。考察した実験装置では,横方向位置の不確実性は,採用した運動システムの位置決め不確実性とセンサと試料間の絶対距離測定の不確実性に依存する。横方向変位不確実性を,キャリブラブル側面格子を用いて実験的に決定した。したがって,それは長さ(メートル)のSIユニットに追跡可能である。実験結果は,横方向変位誤差が正規分布によってモデル化され,仮想実験の結果は,統計的横方向変位誤差がステッチング手順を通して線形に移動し,また,正常分布地形誤差を引き起こすことを示した。これにより,トポグラフィー測定のZernike多項式表現を用いて,各個々のサンプル点に対する拡張不確実性の帰属が可能になった。Copyright The Authors Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 正規分布 ,  不確実性 ,  干渉測定 ,  開口 ,  位置決め ,  線形性 ,  センサ ,  *Zernike多項式
準シソーラス用語： 測定の不確かさ ,  *横方向変位 ,  表面形状 ,  非球面 ,  ステッチ溶接 ,  仮想実験 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 環状サブ開口 ,  縫合 ,  干渉法 ,  トレーサビリティ ,  測定の不確実性

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (8件)： 環状 ,  サブ ,  ステッチング ,  干渉法 ,  横方向変位 ,  誤差 ,  起因 ,  偏差