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J-GLOBAL ID：202102226556302962   整理番号：21A2580031

酸化マグネシウムマイクロアーク酸化膜層に基づく湿度センサの設計と検証【JST・京大機械翻訳】

Design and Verification of Humidity Sensors Based on Magnesium Oxide Micro-Arc Oxidation Film Layers

著者 (15件)： Pan Mingqiang (School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Pan Mingqiang (Jiangsu Provincial Key Labor Atory of Advanced Robotics, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Pan Mingqiang (Robotics and Microsystems Center, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Sheng Jun (School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Sheng Jun (Jiangsu Provincial Key Labor Atory of Advanced Robotics, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Sheng Jun (Robotics and Microsystems Center, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Liu Jizhu (School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Liu Jizhu (Jiangsu Provincial Key Labor Atory of Advanced Robotics, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Liu Jizhu (Robotics and Microsystems Center, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Shi Zeming (School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Shi Zeming (Jiangsu Provincial Key Labor Atory of Advanced Robotics, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Shi Zeming (Robotics and Microsystems Center, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Jiu Lei (School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Jiu Lei (Jiangsu Provincial Key Labor Atory of Advanced Robotics, Soochow University, Suzhou 215123, China) ,  Jiu Lei (Robotics and Microsystems Center, Soochow University, Suzhou 215123, China)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 20  号： 6  ページ： 1736  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 湿度検出範囲は湿度センサの性能を測定する重要な指標であるが,半導体湿度センサは狭い検出範囲と不十分な検出感度の問題に直面している。本論文では,マイクロアーク酸化(MAO)技術に基づく酸化マグネシウム(MgO)湿度センサを,応答信号としてインピーダンスとキャパシタンスを同時に用いて,また2つの信号の出力を正規化することによって,これらの問題を解決するために設計した。実験結果は,応答信号としてのインピーダンスを有するマイクロアークMgOセラミック膜の平均出力は,低相対湿度(RH)範囲(11.367%RH)で150に達することができ,それは高湿度範囲(<1)での感度よりはるかに高く,そして,膜は高速応答(13s)と回復(61s)を示した。高湿度条件(6797.3%RH)の下で,応答信号として容量で,マイクロアークMgOの出力は120と高かった。したがって,インピーダンスを有するマイクロアークMgO湿度センサと応答信号としての静電容量を有するセンサーは,それぞれ低湿度と高湿度環境で良好な安定性を示し,異なる湿度環境に対する適切な応答信号を選択する方法が,センシング材料の湿度検出範囲を拡張し,センサの湿度検出能力を改善するために適用できることを示した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： インピーダンス ,  半導体 ,  相対湿度 ,  *湿度 ,  *酸化マグネシウム ,  静電容量 ,  センサ ,  湿度センサ ,  正規化 ,  セラミック膜
準シソーラス用語： マイクロアーク酸化 ,  高速応答 ,  高湿度 ,  応答シグナル , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 湿度範囲 ,  MgO ,  マイクロアーク酸化 ,  応答シグナル

分類 (1件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V)

引用文献 (40件)：

• Tételin, A.; Pellet, C.; Laville, C.; N’Kaoua, G. Fast response humidity sensors for a medical microsystem. Sens. Actuators B Chem. 2003, 91, 211-218.
• Rittersma, Z.M. Recent achievements in miniaturised humidity sensors-A review of transduction techniques. Sens. Actuators A Phys. 2002, 96, 196-210.
• Benabdellah, N.; Bourhaleb, M.; Nasri, M.; Benazzi, N.; Dahbi, S. Design of temperature and humidity sensors for an electronic nose used in rotten food. In Proceedings of the 2016 2nd International Conference on Electrical and Information Technologies (ICEIT), Piscataway, NJ, USA, 4-7 May 2016; pp. 505-509.
• Lennon, J.A.; O’Brien, D.; Akkari, F. Fibre optic humidity sensors for the mushroom industry and for the curing of meats. In Proceedings of the Conference for Sensors, Measurement and Control, Tavistock, UK, 16-17 February 2000; Volume 1, p. 8.
• Dubey, C.; Kumar, B. Organic humidity sensors with different materials and its application in environment monitoring. In Proceedings of the 2018 5th IEEE Uttar Pradesh Section International Conference on Electrical, Electronics and Computer Engineering (UPCON), Piscataway, NJ, USA, 2-4 November 2018; p. 6.

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化マグネシウム ,  マイクロアーク酸化 ,  湿度センサ ,  設計 ,  検証