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J-GLOBAL ID:202102226794030743   整理番号:21A0089866

エタノールセンシングのためのZnO膜へのFeドーピングの影響に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Study on influence of Fe doping into ZnO film for ethanol sensing
著者 (6件):
資料名:
巻: 1706  号:ページ: 012036 (8pp)  発行年: 2020年 
JST資料番号: W5565A  ISSN: 1742-6588  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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近年,ガス検知材料としての金属酸化物半導体(MOS)のナノ構造の重要性は,大いに上昇している。種々の金属酸化物半導体の中で,ZnOは,いくつかの毒性ガスに対するセンサとして使用できる可能性がある。本研究では,種々の濃度のエタノール蒸気を検出するために,ZnOへのFeドーピングの影響を調べた。プリスチンとFeドープZnO(Fe-ZnO)膜を,Feの濃度が容易に制御できるスピンコーティング法を用いてガラス基板上に堆積させた。ZnO試料の結晶サイズと表面形態を,XRD,SEM,およびEDX技術によって特性評価した。エタノール蒸気に対するZnOとFe-ZnOガスセンサのガス応答(R)に関するセンサ性能をDC電気抵抗を用いて100から300°Cの温度範囲で測定した。FeドープZnO試料は,ドーピング後の粒径の減少に起因する比表面積の増加によるガス応答の増強を示した。2%Fe-ZnO試料は,260°Cで400ppmのエタノール蒸気暴露に対して40.9の良好な応答を示した。これは,異なる方法で調製したZnOの報告された値よりも良好であることが分かった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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