Au/MWCNT複合材料を用いたMEMSスイッチにおける過渡的接触開放力【JST・京大機械翻訳】

Bull Thomas G.; McBride John W.

文献

J-GLOBAL ID：202102226901302432 整理番号：21A2820545

Au/MWCNT複合材料を用いたMEMSスイッチにおける過渡的接触開放力【JST・京大機械翻訳】

Transient Contact Opening Forces in a MEMS Switch Using Au/MWCNT Composite

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巻： 7 号： 4 ページ： 69 発行年： 2019年
JST資料番号： U7284A ISSN： 2227-7080 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：スイス (CHE) 言語：英語 (EN)

マイクロ電気機械システム(MEMS)スイッチにおけるほとんどの故障は,接触表面と付着接触の劣化に起因する。多層カーボンナノチューブ(Au/MWCNT)により支持されたAu膜から成る耐摩耗性複合材料接触材料を,耐摩耗性を提供し,純Auに近い導電性を有するスイッチング寿命を向上した。薄膜Au上の性能を大きく増大して,数十億サイクルのスイッチング寿命を実証した。アーク閾値(ε>12V)以下では,摩耗機構は,溶融金属ブリッジ(MMB)現象による接触材料の微細移動とAuの剥離の組み合わせであることが示されている。本研究では,複合接触を低電流DC条件(4V DCと20mA)で熱スイッチし,一方,接触力をナノ秒分解能でマイクロNewtonスケールで測定した。MMBに関連した特性電圧波形は,接触ソフト,メルト,および分離として検出された力で観測される。剥離事象(DE)の存在も観察され,そこでは接触がMMB現象なしで突然開く。DE接触開口は21.62.3Nの過渡的ピーク力と関連し,一方,MMBは18.12.5Nの低いピーク力にリンクした。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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電気接点

引用文献 (24件)：

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