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J-GLOBAL ID：202102227500593350   整理番号：21A2492146

極板間のナノメータクリアランスを有するマイクロ共振ガスセンサ【JST・京大機械翻訳】

A Micro-Resonant Gas Sensor with Nanometer Clearance between the Pole Plates

著者 (2件)： Fu Xiaorui ,  Xu Lizhong
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 18  号： 2  ページ： 362  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ共鳴ガスセンサでは,その簡単な構造のため,容量検出が広く用いられている。しかし,その欠点は,小さな容量変化に起因する弱い信号出力である。ここでは,極板間の初期クリアランスをナノメートルレベルに減少させ,共振器振動中の極板とその変化の間の静電容量を増加させた。極板間の初期クリアランスがナノメータレベルに低減され,初期クリアランスが200nmのマイクロ共鳴ガスセンサが作製されるマイクロ共鳴ガスセンサの製作プロセスを提案した。このセンサを用いて,いくつかの異なる蒸気に暴露されたとき,共振周波数シフトを測定し,高い検出精度を得た。エタノール蒸気に関する検出精度は,1Hzシフト当たり0.4ppmであり,水素とアンモニア蒸気に関する検出精度は,それぞれ,1Hzシフト当たり3ppmと0.5ppmであった。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共振 ,  共振器 ,  共鳴 ,  水素 ,  静電容量 ,  センサ ,  ガスセンサ ,  共振周波数 ,  生産工程
準シソーラス用語： 検出精度 ,  ナノメータサイズ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： ナノメートルクリアランス ,  マイクロ共振センサ ,  ガスセンサー

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (22件)：

• Lavrik, N.V.; Sepaniak, M.J.; Datskos, P.G. Cantilever transducers as a platform for chemical and biological sensors. Rev. Sci. Instrum. 2004, 75, 2229-2253.
• Pang, W.; Zhao, H.; Kim, E.S. Piezoelectric microelectromechanical resonant sensors for chemical and biological detection. Lab Chip 2012, 12, 29-44.
• Müller, G.; Beer, S.; Paul, S. Novel chemical sensor applications in commercial aircraft. Procedia Eng. 2011, 25, 16-22.
• Hide, M.; Tsutsui, T.; Sato, H. Real-time analysis of ligand-induced cell surface and intracellular reactions of living mast cells using a surface plasmon resonance-based biosensor. Anal. Biochem. 2002, 302, 28-37.
• Kourosh, K.; Nam, H.; Jian, Z.; Kyle, J.B. Ingestible Sensors. ACS Sens. 2017, 2, 468-483.

タイトルに関連する用語 (2件)： 共振 ,  ガスセンサ