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J-GLOBAL ID：202102229688569343   整理番号：21A0742613

低周波PECVDデバイス堆積AlOx/SiNx不動態膜の性能研究【JST・京大機械翻訳】

PERFORMANCE RESEARCH OF AlOx /SiNx PASSIVATION FILMS DEPOSITED BY LOW FREQUENCY PECVD

著者 (5件)： Zhao Zengchao (湖南紅太陽光電科技有限公司,長沙,410013) ,  Li Ming (湖南紅太陽光電科技有限公司,長沙,410013) ,  Zhou Xiaorong (湖南紅太陽光電科技有限公司,長沙,410013) ,  Guo Yan (湖南紅太陽光電科技有限公司,長沙,410013) ,  Huang Jiabin (湖南紅太陽光電科技有限公司,長沙,410013)
資料名： Taiyangneng  (Taiyangneng)
号： 6  ページ： 55-59  発行年： 2020年 
JST資料番号： C4448A  ISSN： 1003-0417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： AlOx/SiNx不動態化膜の性能を研究した。少数の寿命テストにより、低周波数PECVD装置で直接堆積させたAlOx/SiNx不動態化膜の不動態化性能は弱く、キャリア再結合は深刻であることが分かった。Fourier変換赤外分光(FTIR)を用いてこの現象の原因を分析した結果,Si-AlOx界面が十分な酸化層を持たないため,AlOx膜層内のAl-O四面体構造の割合が小さかった。低周波数PECVD装置にAlOx膜を堆積後、N2O/NH3ガスを通ってプラズマ表面処理を行うことで、表面のキャリア再結合を抑制し、AlOx/SiNx不動態化膜の不動態化性能を著しく改善した。小バッチ生産のPERC太陽電池の平均変換効率は22.48%に達した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  プラズマ ,  太陽電池 ,  表面処理 ,  寿命試験 ,  バッチ生産 ,  不動態化 ,  *不動態皮膜 ,  *LF【周波数】 ,  酸化層 ,  *プラズマCVD ,  キャリア再結合 ,  FTIR分光法 ,  四面体
準シソーラス用語： 変換効率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 低周波 ,  PECVD ,  堆積 ,  不動態膜 ,  研究