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J-GLOBAL ID：202102230553012534   整理番号：21A0876451

金属被覆の厚さの測定:方法のレビュー【JST・京大機械翻訳】

Measuring the Thickness of Metal Coatings: A Review of the Methods

著者 (4件)： Giurlani Walter (Department of Chemistry “Ugo Schiff”, Universita degli Studi di Firenze, via della Lastruccia 3, 50019 Sesto Fiorentino, Italy) ,  Berretti Enrico (Institute of Chemistry of Organometallic Compounds (ICCOM)-National Research Council (CNR), via Madonna del Piano 10, 50019 Sesto Fiorentino, Italy) ,  Innocenti Massimo (Department of Chemistry “Ugo Schiff”, Universita degli Studi di Firenze, via della Lastruccia 3, 50019 Sesto Fiorentino, Italy) ,  Lavacchi Alessandro (Institute of Chemistry of Organometallic Compounds (ICCOM)-National Research Council (CNR), via Madonna del Piano 10, 50019 Sesto Fiorentino, Italy)
資料名： Coatings (Web)  (Coatings (Web))
巻： 10  号： 12  ページ： 1211  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7162A  ISSN： 2079-6412  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さは被覆の機能性に劇的に影響を及ぼした。したがって,厚さを決定するために使用する技術は,コーティング研究と技術にとって最も重要である。本レビューでは,金属被覆の厚さを決定する最も適切な方法のいくつかを解析した。そうすることで,この技術を2つのカテゴリーに分類した。(i)破壊および(ii)非破壊。これらの方法の特異性と精度について,prosとconsに焦点を当てて報告した。原稿は,手順の複雑さや結果を得るために必要な時間のような実際的問題もカバーした。分析は金属被覆に最も焦点を合わせたが,多くの方法は他の材料の膜にも適用可能である。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *被覆 ,  *メタライゼーション ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  集束イオンビーム
準シソーラス用語： 特異性 ,  機能性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (10件)： 厚み決定 ,  薄膜 ,  材料のキャラクタリゼーション ,  金属被覆 ,  断面積 ,  光学顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡(SEM) ,  集束イオンビーム(FIB) ,  エネルギー分散X線分光法(EDS) ,  X線蛍光分光法(XRF)

分類 (2件)： 無機化合物の物理分析  (CC03024P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (217件)：

• Whiteside, P.; Chininis, J.; Hunt, H. Techniques and challenges for characterizing metal thin films with applications in photonics. Coatings 2016, 6, 35.
• Nash, C.R.; Fenton, J.C.; Constantino, N.G.N.; Warburton, P.A. Compact chromium oxide thin film resistors for use in nanoscale quantum circuits. J. Appl. Phys. 2014, 116.
• Lobo, R.F.M.; Pereira-da-Silva, M.A.; Raposo, M.; Faria, R.M.; Oliveira, O.N. In situ thickness measurements of ultra-thin multilayer polymer films by atomic force microscopy. Nanotechnology 1999, 10, 389-393.
• Sitko, R. Quantitative X-ray fluorescence analysis of samples of less than “infinite thickness”: Difficulties and possibilities. Spectrochim. Acta Part B At. Spectrosc. 2009, 64, 1161-1172.
• Lopes, F.; Cardozo Amorin, L.H.; da Silva Martins, L.; Urbano, A.; Roberto Appoloni, C.; Cesareo, R. Thickness measurement of V2O5 nanometric thin films using a portable XRF. J. Spectrosc. 2016, 2016, 1-7.

タイトルに関連する用語 (3件)： 金属被覆 ,  厚さ ,  レビュー