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J-GLOBAL ID：202102230872926891   整理番号：21A2527536

精度向上のための簡易低コストマイクロコーティング法とその圧力センサへの応用【JST・京大機械翻訳】

A Simple, Low-Cost Micro-Coating Method for Accuracy Improvement and Its Application in Pressure Sensors

著者 (8件)： Yao Jia-Lin (School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China) ,  Yao Jia-Lin (The State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Chen Yu-Xuan (School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China) ,  Qiang Wen-Jiang (School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China) ,  Wang Xi-Zi (School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China) ,  Wei Hao (School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China) ,  Gao Bo-Hang (School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China) ,  Yang Xing (The State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 19  号： 20  ページ： 4601  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度圧力センサに対する需要は,多様な応用における技術の進歩とともに増大した。しかし,通常,圧力センサーのセンシング原理と内部物理構造に依存するので,その材料と製造プロセスによって変化するので,圧力センサの精度を改善するのは,一般的に困難で高価である。したがって,圧力センサの精度を改善するために,簡単,低コスト,および一般的に適用された後処理法を提案した。この方法では,マイクロコーティングをセンサ表面にクラッドし,外部環境の悪影響を効果的に単離し,圧力センサにマイクロ保護衣類を適用した。7つの圧力センサに関する実験を行い,その中で,ミクロン-薄いパリレン重合体を表面蒸着被覆層として利用し,精度の改善を実証した。結果は,精度が改善され,被覆前より約62.54%の平均増加で,感度はほとんど変化しなかったことを示した。この方法の精度を改善する原理も分析した。センサの精度を高めるためのクラッディングマイクロコーティングの提案した単純,効率的,低コスト法は,工業自動制御の様々な分野で広く応用できる。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 重合体 ,  自動制御 ,  *被覆 ,  衣服 ,  後処理 ,  センサ ,  生産工程 ,  圧力センサ
準シソーラス用語： Parylene ,  ローコスト ,  クラッド層 ,  高精度 ,  *高精度化 ,  外部環境 ,  蒸着被覆 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： マイクロコーティング ,  精度向上 ,  圧力センサ ,  後処理方法 ,  保護障壁

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (34件)：

• Gao, W.; Emaminejad, S.; Hyy, N.; Challa, S.; Chen, K.; Peck, A.; Fahad, H.M.; Ota, H.; Shiraki, H.; Kiriya, D. Fully integrated wearable sensor arrays for multiplexed in situ perspiration analysis. Nature 2016, 529, 509-514.
• Chorsi, M.T.; Curry, E.J.; Chorsi, H.T.; Das, R.; Baroody, J.; Purohit, P.K.; Ilies, H.; Nguyen, T.D. Piezoelectric biomaterials for sensors and actuators. Adv. Mater. 2019, 31, 1802084.
• Natiely, H.S.; Daniela, D.A.; Francisco, R.C.; Noé, V.V.O.; Wilfrido, C.A. Design and simulation of an integrated wireless capacitive sensors array for measuring ventricular pressure. Sensors 2018, 18, 2781.
• Umay, I.; Fidan, B.; Barshan, B. Localization and tracking of implantable biomedic sensors. Sensors 2017, 17, 583.
• Park, J.; Kim, J.K.; Patil, S.J.; Park, J.K.; Park, S.; Lee, D.W. A wireless pressure senor integrated with a biodegradable polymer stent for biomedical applications. Sensors 2016, 16, 809.

タイトルに関連する用語 (5件)： 精度向上 ,  簡易 ,  コーティング ,  圧力センサ ,  応用