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J-GLOBAL ID：202102233424709005   整理番号：21A2703350

非平衡RFマグネトロンスパッタリングにより蒸着した傾斜太陽選択吸収体【JST・京大機械翻訳】

Graded solar selective absorbers deposited by non-equilibrium RF magnetron sputtering

著者 (6件)： Pelenovich Vasiliy (School of Power & Mechanical Engineering, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Liu Huidong (School of Power & Mechanical Engineering, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Zeng Xiaomei (Department of Physics and Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, Hubei Nuclear Solid Physics Key Laboratory and Center for Ion Beam Application, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Liu Yan (School of Power & Mechanical Engineering, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Liu Kang (School of Power & Mechanical Engineering, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Yang Bing (School of Power & Mechanical Engineering, Wuhan University, Wuhan, 430072, China)
資料名： Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 230  ページ： Null  発行年： 2021年 
JST資料番号： D0513C  ISSN： 0927-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 傾斜太陽選択吸収体(SSA)を堆積する新しいアプローチを提案した。反射防止層を有する高エントロピー複合SSAを非平衡反応性RFマグネトロンスパッタリングにより作製した。勾配組成を得るために,反応性O_2/Ar雰囲気中のターゲット被毒の緩和プロセスを採用した。酸素導入後,ターゲットは徐々に被毒し,純粋な金属から酸化物への吸収体組成の滑らかな変化をもたらした。被毒緩和時間は,SSAの厚みと元素のプロファイル分布を制御し,反応性ガス流量とRF電力を選択することによって調整できた。焼結Al:Cr:Nb:Si:Ta:Ti:Y混合物をターゲット材料として用いた。段階的SSAsは有望な結果を示し,13.4の最大選択性を有する被覆は,0.884の太陽吸収率と0.066の放射率を有する。堆積法を試験するために,他のターゲット材料(AlTiとAlSc)も試み,それは,0.949(テクスチャ表面に対して0.978)の吸収率と18.6の選択性を有する良好な光学特性を示した。本研究で提案した非平衡反応性スパッタリング法は,二重吸収層と多層被覆を含む効果的なSSAを堆積する既存の方法と比較して,単純性と高い生産収率の利点を有する。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エントロピー ,  緩和時間 ,  吸収係数 ,  光学的性質 ,  焼結 ,  *太陽 ,  放射率 ,  酸素 ,  酸化物 ,  *非平衡状態 ,  緩和現象 ,  *選択吸収 ,  反応性スパッタリング
準シソーラス用語： ガス流量 ,  *RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 太陽選択吸収器 ,  高エントロピー複合材料 ,  標的中毒 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  緩和時間

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 非平衡 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  太陽 ,  吸収体