文献

J-GLOBAL ID：202102233456496659   整理番号：21A3314170

伸縮性カプセル封じのためのしわSiO_2薄膜の二軸伸縮性の増強【JST・京大機械翻訳】

Enhanced biaxial stretchability of wrinkled SiO₂ thin films for stretchable encapsulation

著者 (8件)： Kim Na-Hyang (Department of Materials Science and Engineering, UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology), Ulsan 44919, Republic of Korea) ,  Hwang Gyeong-Seok (Department of Materials Science and Engineering, UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology), Ulsan 44919, Republic of Korea) ,  Kim Hangeul (Department of Materials Science and Engineering, UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology), Ulsan 44919, Republic of Korea) ,  Kim Si-Hoon (Department of Materials Science and Engineering, UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology), Ulsan 44919, Republic of Korea) ,  Kim Si-Hoon (School of Material Science and Engineering, University of Ulsan, Ulsan 44610, Republic of Korea) ,  Woo Jeong-Hyun (Department of Materials Science and Engineering, UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology), Ulsan 44919, Republic of Korea) ,  Song Myoung Hoon (Department of Materials Science and Engineering, UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology), Ulsan 44919, Republic of Korea) ,  Kim Ju-Young (Department of Materials Science and Engineering, UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology), Ulsan 44919, Republic of Korea)
資料名： Scripta Materialia  (Scripta Materialia)
巻： 207  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0915A  ISSN： 1359-6462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 皺構造を有する高度に不浸透性のSiO_2カプセル化薄膜の強化された二軸伸縮性を実証した。サブミクロン厚さのSiO_2膜を単結晶Siウエハ上に成長させ,皺膜上の局所歪を終端し,それらの高い弾性変形限界は皺構造を安定化させる。SiO_2膜を予歪エラストマに転送し,2種類の皺構造を予歪の除去により形成した:単軸予歪による整列皺と等二軸予歪によるランダムしわ。大面積膜の伸縮性は,個々の皺のしわと相関があり,そして,力学モデルは,カプセル化膜およびエラストマ基板の弾性特性と同様に,皺形態のパラメータによる伸縮性を予測することが示唆された。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  *薄膜 ,  引張試験 ,  石英ガラス ,  力学モデル ,  弾性変形 ,  一軸 ,  二軸 ,  予歪
準シソーラス用語： 大面積 ,  伸縮性 ,  弾性特性 ,  局所歪 ,  エラストマ ,  *一酸化ケイ素 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  引張試験 ,  シリカガラス ,  座屈 ,  二軸伸縮性

分類 (1件)： 金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 伸縮性 ,  カプセル封じ ,  しわ ,  薄膜 ,  二軸 ,  増強