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J-GLOBAL ID：202102233949703349   整理番号：21A0034229

スピンコートWO_3薄膜の特性評価とガスセンシング特性【JST・京大機械翻訳】

Characterization and Gas Sensing Properties of Spin Coated WO₃ Thin Films

著者 (7件)： Shendage Sambhaji S. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur-416004, M. S., India) ,  Patil Vithoba L. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur-416004, M. S., India) ,  Vanalakar Sharadrao A. (Department of Physics, Karmaveer Hire Arts, Commerce, Science and Education College Gargoti, Dist: Kolhapur, 416 209, India) ,  Patil Sarita P. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur-416004, M. S., India) ,  Bhosale Jalindar L. (SMDBS Mahavidyalaya, Miraj-416412, M. S., India) ,  Kim Jin. H. (Department of Materials Science and Engineering, Chonnam National University, Gwangju 500-757, South Korea, Fax: [phone]) ,  Patil Pramod. S. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur-416004, M. S., India)
資料名： Zeitschrift fuer Physikalische Chemie  (Zeitschrift fuer Physikalische Chemie)
巻： 234  号： 11-12  ページ： 1819-1834  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0443A  ISSN： 0942-9352  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： WO_3薄膜を種々の堆積サイクルで簡単で容易なスピンコーティング法によりガラス基板上に合成し,種々の濃度のNO_2ガスに対するセンサ応答を調べた。WO_3膜を,それぞれ,5,10および15の堆積サイクルに対して,2500-3000rpmの回転速度でスピンコートした。次に,膜を炉中で400°Cで1時間アニールした。WO_3膜の構造,形態,光学的および電気的性質を,X線回折(XRD),走査Electron顕微鏡(SEM),FT-RAMAN分光法,および実験室による電気抵抗率測定などの異なるキャラクタリゼーション技術によって研究した。WO_3の純粋な単斜晶相を有する球状粒状形態を明らかにした。FT-RAMANスペクトルもWO_3の純粋な単斜晶相を確認した。WO_3-10膜センサは,200°Cで,それぞれ最大ガス感度21.93と102.4%から5と100ppmのNO_2を示した。WO_3-10薄膜センサは,他のガスよりNO_2に対して高感度で選択的であった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  焼なまし ,  電気抵抗率 ,  *薄膜 ,  電気的性質 ,  スペクトル ,  回転数 ,  単斜晶系 ,  センサ ,  キャラクタリゼーション ,  *スピンコーティング ,  ナノ粒子
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  膜センサ ,  薄膜センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： NO_2ガスセンサ ,  感度 ,  スピンコーティング ,  WO_3ナノ粒子

分類 (1件)： その他の触媒  (CB06123Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： スピンコート ,  薄膜 ,  特性評価 ,  センシング