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J-GLOBAL ID：202102234025561464   整理番号：21A1050647

薄膜リチウムイオン電池のためのリチウム-ニッケル-ケイ素オキシドカソード材料の原子層蒸着【JST・京大機械翻訳】

Atomic Layer Deposition of Lithium-Nickel-Silicon Oxide Cathode Material for Thin-Film Lithium-Ion Batteries

著者 (9件)： Maximov Maxim (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, 195221 Saint Petersburg, Russia) ,  Nazarov Denis (Saint Petersburg State University, 199034 Saint Petersburg, Russia) ,  Rumyantsev Aleksander (Ioffe Institute, 194021 Saint Petersburg, Russia) ,  Koshtyal Yury (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, 195221 Saint Petersburg, Russia) ,  Ezhov Ilya (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, 195221 Saint Petersburg, Russia) ,  Mitrofanov Ilya (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, 195221 Saint Petersburg, Russia) ,  Kim Artem (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, 195221 Saint Petersburg, Russia) ,  Medvedev Oleg (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, 195221 Saint Petersburg, Russia) ,  Popovich Anatoly (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, 195221 Saint Petersburg, Russia)
資料名： Energies (Web)  (Energies (Web))
巻： 13  号： 9  ページ： 2345  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7016A  ISSN： 1996-1073  CODEN： ENERGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： リチウムニッケル酸リチウム(LiNiO_2)と材料は,その大きな容量のため,リチウムイオン電池のための魅力的な正極材料である。本論文では,前駆体としてリチウムヘキサメチルジシラジド(LiHMDS)およびビス(シクロペンタジエンイル)ニッケル(II(NiCp_2)を用いたリチウムニッケルケイ素オキシド薄膜の原子層堆積(ALD)の結果,および対試薬としての遠隔酸素プラズマを報告した。2つのアプローチ,すなわち,スーパーサイクルを用いたALDと,酸化リチウム,リチウム酸化ニッケル,および酸化ニッケルの多層構造のALD,続くアニーリングを研究した。調製した膜を,走査電子顕微鏡,スペクトル偏光解析法,X線回折,X線反射率,X線光電子分光法,飛行時間二次イオン質量分析,エネルギー分散X線分光法,透過型電子顕微鏡,および選択領域電子回折によって研究した。1つのスーパーサイクルにおけるLiHMDS/Ni(Cp)_2前駆体のパルス比は1/1から1/10の範囲であった。シリコンは蒸着膜中に観察され,アニーリング後に,結晶Li_2SiO_3とLi_2Si_2O_5が800Cで形成された。多層試料のアニーリングは,LiNiO_2の部分的形成を引き起こした。得られたカソード材料は,他の薄膜カソードの結果に匹敵する電気化学的活性を有していた。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *イオン ,  蒸着膜 ,  焼なまし ,  走査電子顕微鏡 ,  *ケイ素 ,  *リチウム ,  酸化ニッケル ,  スペクトル ,  電気化学 ,  前駆体 ,  X線光電子分光法 ,  電池容量 ,  *カソード ,  *リチウムイオン電池
準シソーラス用語： *カソード材料【電池】 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 原子層蒸着 ,  リチウム-ニッケル-ケイ素オキシド ,  Liイオン電池 ,  薄膜電池 ,  陰極材料

分類 (1件)： 二次電池  (YB04030K)

引用文献 (83件)：

• Khan, Y.; Ostfeld, A.E.; Lochner, C.M.; Pierre, A.; Arias, A.C. Monitoring of Vital Signs with Flexible and Wearable Medical Devices. Adv. Mater. 2016, 28, 4373-4395.
• Salot, R.; Martin, S.; Oukassi, S.; Bedjaoui, M.; Ubrig, J. Microbattery technology overview and associated multilayer encapsulation process. Appl. Surf. Sci. 2009, 256, S54-S57.
• Wu, Q.; Zheng, J.P.; Hendriekson, M.; Plichta, E.J. Dry Process for Fabricating Low Cost and High Performance Electrode for Energy Storage Devices. Mrs Adv. 2019, 4, 857-863.
• Micro Technology (Wyon). Available online: https://www.wyon.ch/en/home.html (accessed on 27 January 2020).
• Oudenhoven, J.F.M.; Baggetto, L.; Notten, P.H.L. All-Solid-State Lithium-Ion Microbatteries: A Review of Various Three-Dimensional Concepts. Adv. Energy Mater. 2011, 1, 10-33.

タイトルに関連する用語 (8件)： 薄膜 ,  リチウムイオン電池 ,  リチウム ,  ニッケル ,  ケイ素 ,  オキシド ,  カソード材料 ,  原子層蒸着