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J-GLOBAL ID：202102235373141606   整理番号：21A1046862

Ag/Cu MACEプロセスと太陽電池によるDWS mc-Siマークの除去に及ぼすナノ構造再構成の温度効果【JST・京大機械翻訳】

Temperature Effect of Nano-Structure Rebuilding on Removal of DWS mc-Si Marks by Ag/Cu MACE Process and Solar Cell

著者 (9件)： Pu Tian (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China) ,  Shen Honglie (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China) ,  Zheng Chaofan (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China) ,  Xu Yajun (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China) ,  Jiang Ye (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China) ,  Tang Quntao (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China) ,  Yang Wangyang (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China) ,  Rui Chunbao (Phono Solar Technology Co. Ltd., Nanjing 210000, China) ,  Li Yufang (Collage of Material Science & Technology, Jiangsu Key Laboratory of Materials and Technology for Energy Conversion, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210000, China)
資料名： Energies (Web)  (Energies (Web))
巻： 13  号： 18  ページ： 4890  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7016A  ISSN： 1996-1073  CODEN： ENERGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンドワイヤソーン多結晶シリコン(DWS mc-Si)太陽電池のための効果的なテクスチャリング技術の欠如は,従来のマルチワイヤスラリー鋸シリコン(MWSS mc-Si)太陽電池からの商用アップグレードを妨げている。本研究では,Cu/Ag二重素子とナノ構造再構成(NSR)処理による金属支援化学エッチングプロセスに基づく多結晶シリコンウエハにおけるダイヤモンド-ワイヤ-サウンマークの除去のための新しい方法を提示し,均一反転ピラミッドテクスチャ構造を作製した。NSR溶液の温度効果を系統的に解析した。反転ピラミッド構造の大きさと反射率はNSR処理温度の上昇と共に大きくなることが分かった。さらに,調製したユニークな反転ピラミッド構造は光トラッピングを有利にするだけでなく,同時にウエハの鋸マークを効果的に除去した。50Cで360sのNSR処理により作製した逆ピラミッド構造(600nmのエッジ長)を有する太陽電池において19.77%の最高効率が得られ,一方,その平均反射率は400900nm波長領域で16.50%であった。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *太陽電池 ,  反射率 ,  ダイヤモンド ,  鋸 ,  テキスチャード加工 ,  *温度依存性 ,  多結晶 ,  再構成 ,  金属線 ,  角錐 ,  光トラッピング ,  *ナノ構造 ,  ポリシリコン
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  波長領域 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 太陽電池 ,  金属支援化学エッチング ,  反転ピラミッド構造 ,  ソーマークの除去

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

引用文献 (22件)：

• Möller, H.; Funke, C.; Rinio, M.; Scholz, S. Multicrystalline silicon for solar cells. Thin Solid Films 2005, 487, 179-187.
• Green, M.A.; Hishikawa, Y.; Dunlop, E.D. Solar cell efficiency tables (version 52). Prog. Photovolt. 2018, 26, 427-436.
• Watanabe, N.; Kondo, Y.; Ide, D.; Matsuki, T.; Takato, H.; Sakata, I. Characterization of polycrystalline silicon wafers for solar cells sliced with novel fixed-abrasive wire. Prog. Photovolt. Res. Appl. 2010, 18, 485-490.
• Meinel, B.; Koschwitz, T.; Acker, J. Textural development of SiC and diamond wire sawed sc-silicon wafer. Energy Procedia 2012, 27, 330-336.
• Hardin, C.W.; Qu, J.; Shih, A.J. Fixed abrasive diamond wire saw slicing of single-crystal silicon carbide wafers. Mater. Manuf. Process. 2004, 19, 355-367.

タイトルに関連する用語 (12件)： Ag ,  Cu ,  MACE ,  プロセス ,  太陽電池 ,  DWS ,  MC ,  Si ,  マーク ,  ナノ構造 ,  再構成 ,  温度効果