AlNパッケージング基板の性質に及ぼすY_2O_3-CaF_2の影響【JST・京大機械翻訳】

He J. H.; Liang C.; Wang X. Y.; Chen G. L.; Zhang X. F.; Xue W.; Li K.; Zhang Y.; Tan Z. L.

文献

J-GLOBAL ID：202102238991246894 整理番号：21A0234745

AlNパッケージング基板の性質に及ぼすY_2O_3-CaF_2の影響【JST・京大機械翻訳】

The effects of Y₂O₃-CaF₂ on the properties of AlN packaging substrate

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資料名：
巻： 2020 号： SSLChina: IFWS ページ： 271-273 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高い熱伝導率を有する窒化アルミニウムは重要な包装基板材料である。AlNセラミックスの焼結特性,相組成および微細構造に及ぼすY_2O_3およびCaF_2の影響を調べた。結果は,Y_2O_3とCaF_2の添加がセラミックの微細構造と密度を改善することを示した。1.8%Y_2O_3と1.2%CaF_2のAlNセラミックスのバルク密度と熱伝導率は,それぞれ3.286g/cm3と192W/(m・K)であった。微細構造解析は,AlNの粒径がより均質で,粒界相が少なく,結晶粒コーナー接合部に分布し,互いに無関係であることを示した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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