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J-GLOBAL ID：202102242071504859   整理番号：21A2526333

検体センシングのためのEビームリソグラフィーにより作製した単一モードテーパ垂直SU-8導波路【JST・京大機械翻訳】

Single-Mode Tapered Vertical SU-8 Waveguide Fabricated by E-Beam Lithography for Analyte Sensing

著者 (4件)： Xin Yu (State Key Laboratory of NBC Protection for Civilian, Beijing 102205, China) ,  Pandraud Gregory (EEMCS, Delft University of Technology, 2628 CD Delft, The Netherlands) ,  Zhang Yongmeng (College of Intelligence Science and Technology, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) ,  French Paddy (EEMCS, Delft University of Technology, 2628 CD Delft, The Netherlands)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 19  号： 15  ページ： 3383  発行年： 2019年 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,エバネセント分析物検出のための新しい垂直SU-8導波路を提案した。導波路表面の両側にエバネセント波を発生させるための垂直で狭い構造を持つように導波路を設計し,センシング領域を拡大することにより感度を高めることを目指した。高さと幅を含む導波路性能に及ぼす異なるパラメータの影響をモニターするためにシミュレーションを行った。Eビームリソグラフィーを用いて,この一段階直接書き込みプロセスが容易,高速,高分解能製造を可能にするので,構造を作製した。さらに,それは側壁粗さを低減し,誘起散乱損失を減少させ,これは導波路損失の主要な源であった。結合効率およびアラインメント許容度を改善するために,クーラーを追加し,プラグアンドプレイ光学系の実現可能性に寄与するであろう。光学的測定は,伝送損失が1.030.19dB/cmであることを示した。吸収感度は,種々の濃度の食塩水溶液に対して,屈折率単位当たり4.8dB(dB/RIU)であった。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  屈折率 ,  散乱 ,  光学的測定 ,  光学系 ,  冷却器 ,  許容量 ,  伝送損失 ,  エバネセント波 ,  高分解能 ,  *単一モード ,  *導波路
準シソーラス用語： *SU-8 ,  結合効率 ,  直接書込み , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： SU-8フォトレジスト ,  垂直導波路 ,  単一モード ,  エバネセントセンシング ,  Eビームリソグラフィー ,  テーパー

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V)

引用文献 (26件)：

• Miller, S.E. Integrated optics: An Introduction. Bell Syst. Tech. J. 1969, 48, 2059-2069.
• Piao, X.; Yu, S.; Park, N. Control of Fano asymmetry in plasmon induced transparency and its application to plasmonic waveguide modulator. Opt. Express 2012, 20, 18994.
• Wang, W.C.; Fauver, M.; Ho, J.N.; Seibel, E.J.; Reinhall, P.G. Micromachined optical waveguide cantilever as a resonant optical scanner. Sens. Actuators A Phys. 2002, 102, 165-175.
• Ollier, E. Optical MEMS devices based on moving waveguides. IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 2002, 8, 155-162.
• Mukundan, H.; Anderson, A.S.; Grace, W.K.; Grace, K.M.; Hartman, N.; Martinez, J.S.; Swanson, B.I. Waveguide-Based Biosensors for Pathogen Detection. Sensors 2009, 9, 5783-5809.

タイトルに関連する用語 (10件)： 検体 ,  センシング ,  ビーム ,  リソグラフィー ,  作製 ,  単一モード ,  テーパ ,  垂直 ,  SU-8 ,  導波路