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J-GLOBAL ID：202102242550038803   整理番号：21A0449458

Jバンドを完全にカバーする機械加工InP浸漬格子【JST・京大機械翻訳】

Machined InP immersion grating perfectly covering J-band

著者 (2件)： Sukegawa Takashi (Canon Inc. (Japan)) ,  Okura Yukinobu (Canon Inc. (Japan))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11451  ページ： 114511C-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カノンは,世界で初めてInP浸漬評価の実用化に成功した(Sukegawa et al.,2016)。透過特性における浸漬格子用の特殊材料を開発し,シリコンに匹敵する材料を得た。この材料および優れた切削技術により作製したInP浸漬格子は,初期InP浸漬素子よりも波長が短く,より実用的であり,シリコン浸漬格子で覆われた範囲を完全にカバーできる。既に証明された約2.2μm(Kバンド)と約1.6μm(Hバンド)に加えて,理想的な格子形状を持つ浸漬回折素子は約1.25μm(Jバンド)でも提供できる。経過中,浸漬格子だけでなくグラミズムも製造できる。本論文では,回折格子の溝と同じ構造を持つ積分場ユニットのマイクロミラーのような最新の機械加工光学デバイスも示す。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 回折 ,  回折格子 ,  切削 ,  ケイ素 ,  波長 ,  *機械工作 ,  *リン化インジウム ,  浸漬 ,  光学素子
準シソーラス用語： マイクロミラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： バンド ,  機械加工 ,  InP ,  浸漬 ,  格子