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J-GLOBAL ID：202102243969812245   整理番号：21A0333485

斜め入射型偏光顕微ラマン分光装置におけるSiのスペクトル測定

Raman Spectrum in Si by using Polarized Raman Micro Spectroscopy in Oblique Backscattering Configuration.

著者 (5件)： 鈴木雄也 (名城大 大学院) ,  谷津祐哉 (名城大) ,  鈴木隆浩 (名城大) ,  市川拓人 (名城大 大学院) ,  來海博央 (名城大)
資料名： 日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集  (日本機械学会東海支部総会講演会講演概要集)
巻： 61st (Web)  ページ： ROMBUNNO.608(J-STAGE)  発行年： 2012年03月15日 
JST資料番号： L0013A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： Raman分光法 ,  *ケイ素 ,  *Raman散乱 ,  半導体素子 ,  歪測定
準シソーラス用語： スペクトル測定 ,  斜め入射 ,  *単結晶シリコン ,  偏光顕微鏡法

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 斜め入射 ,  偏光 ,  Si ,  スペクトル測定