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J-GLOBAL ID：202102244250976302   整理番号：21A1771050

回折格子の機械的ラリング:パートI-アルミニウム膜の調製とキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】

Mechanical Ruling of Diffraction Grating: Part I - Aluminum Film Preparation and Characterization

著者 (4件)： Wang Qinghua (University of Iowa, Iowa City, IA) ,  Zhang Baoqing (University of Iowa, Iowa City, IA) ,  Shen Ninggang (University of Iowa, Iowa City, IA) ,  Ding Hongtao (University of Iowa, Iowa City, IA)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： MSEC2016  ページ： Null  発行年： 2016年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： これは,回折格子のメカニカルリングに関する2つの部分シリーズ研究のパートIである。機械的リングは回折格子を作製する主要な方法である。機械的破砕において,第一段階はAl膜を調製することである。膜の厚みと機械的性質の要求を満たすために高品質調製技術が必要である。本論文の目的は,回折格子の機械的破壊に用いるAl膜の調製法と機械的性質に関する完全な研究を提示することである。XRDとSEM実験と解析を行ってAl膜の微細構造を調べ,ナノインデンテーションとスクラッチ試験を用いてAl膜の機械的性質を測定した。Al膜は良好な機械的特性を示し,回折格子の機械的破壊の実験および数値シミュレーション研究にとって重要であろう。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *回折格子 ,  機械的性質 ,  微細構造 ,  引かき試験 ,  キャラクタリゼーション ,  ナノインデンテーション
準シソーラス用語： 数値シミュレーション ,  高品質 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 回折格子 ,  パート ,  アルミニウム膜 ,  調製 ,  キャラクタリゼーション