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J-GLOBAL ID：202102244580094471   整理番号：21A0316894

高信頼性窒化アルミニウム基パワー負荷加工プロセス研究【JST・京大機械翻訳】

Research on Processing Technology of High Reliability Power Load Based on AlN

著者 (6件)： Xu Yaxin (中国電子科技集団公司第五十四研究所,河北石家庄,050081) ,  Zhao Fei (中国電子科技集団公司第五十四研究所,河北石家庄,050081) ,  He Chao (中国電子科技集団公司第五十四研究所,河北石家庄,050081) ,  Gong Menglei (中国電子科技集団公司第五十四研究所,河北石家庄,050081) ,  Zhuang Zhixue (中国電子科技集団公司第五十四研究所,河北石家庄,050081) ,  Liang Guanghua (中国電子科技集団公司第五十四研究所,河北石家庄,050081)
資料名： Dizi Gongyi Jishu  (Dizi Gongyi Jishu)
巻： 41  号： 2  ページ： 99-102  発行年： 2020年 
JST資料番号： C4416A  ISSN： 1001-3474  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 窒化アルミニウム基板を用いて電力負荷を製作し、通信システムの高熱放散に対する要求を満たせる。窒化アルミニウム基板の耐アルカリ性と易加水分解性などの特性に対して、プロセスフローから、デバイスの長期信頼性に影響する相互接続孔の調製、膜層の付着力向上などの重要技術と重要な要素について分析した。開発した窒化アルミニウムの電力負荷は040GHzの周波数帯で、国軍標準の信頼性試験後、性能は安定し、耐電力は30Wに達し、高信頼性高電力負荷の調製を実現した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱放射 ,  電力 ,  信頼性試験 ,  相互接続 ,  耐アルカリ性 ,  通信方式 ,  *窒化アルミニウム ,  付着力 ,  周波数帯
準シソーラス用語： 長期信頼性 ,  電力負荷 ,  *高信頼性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高信頼性 ,  窒化アルミニウム ,  パワー ,  加工プロセス ,  研究