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J-GLOBAL ID：202102245069216476   整理番号：21A0189922

ディジタル圧力計MT300開発における直線性改善の取り組みと同期測定技術の活用

Linearity Improvement and Synchronous Measurement Technology for Developing the MT300 Digital Manometer

著者 (2件)： 栗原寛法 (横河計測 技術開発本部) ,  山下英昭 (横河計測 技術開発本部)
資料名： 横河技報  (Yokogawa Technical Report)
巻： 63  号： 2  ページ： 101-106  発行年： 2020年12月23日 
JST資料番号： G0256A  ISSN： 0513-5532  CODEN： YOGHA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコンレゾナントセンサを搭載することによって優れた長期安定性を実現したディジタル圧力計MTシリーズは,製造,研究・開発,校正など,産業分野において広く使用されている。国家計量標準機関において国家標準の国際比較の仲介器(Transfer standard)として使用されている実績もある。しかし,従来のMTシリーズは,長期安定度は良好であるものの直線性には改善の余地があった。この問題を解決すべく,我々は産業技術総合研究所計量標準総合センターと共同研究を行い,共同研究で得られた調整技術を用いて新ディジタル圧力計MT300を開発し,販売に至った。本稿では,産業技術総合研究所計量標準総合センターによる評価結果を交えて直線性を改善した技術を紹介するとともに,調整に使用した同期測定機能についても解説する。(著者抄録)

シソーラス用語： *圧力計 ,  ディジタル計測 ,  線形性 ,  キャリブレーション ,  圧力センサ ,  安定性 ,  同時計測 ,  新製品 ,  圧力測定 ,  測定誤差
準シソーラス用語： 直線性 ,  長期安定性 ,  同期測定

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (7件)：

• 小畠時彦,小島桃子,梶川宏明,“圧力計の信頼性向上と国際相互認証-工業用デジタル圧力計の計量標準体系への取り込み-”, Synthesiology,Vol. 4,No. 4,2011,p. 209-221
• K. Ikeda, H. Kuwayama, et al., “Silicon Pressure Sensor Integrates Resonant Strain Gauge on Diaphragm,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 21, 1990, pp. 146-150
• 横河計測株式会社,永嶋裕和,飯沼忠彦,栗原寛法,山田秀樹,“測定システム,測定方法及び圧力測定装置”,特開 2019-200067
• 小島桃子,小畠時彦,“差圧計の校正曲線とライン圧依存性の詳細評価”,第29回センシングフォーラム論文集,2012, p. 9-13
• T. Kobata, M. Kojima, et al., “Final Report on Key Comparison APMP. M.P-K5 in Differential Pressure from 1 Pa to 5000 Pa,” Metrologia, Vol. 44, No. 1A, Technical Supplement 07001, 2006

タイトルに関連する用語 (6件)： ディジタル ,  圧力計 ,  開発 ,  直線性 ,  同期測定 ,  活用