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J-GLOBAL ID:202102246043136172   整理番号:21A1820434

クロスヘアたわみに基づくナノポジショナのキネトスタティックモデリングおよびデカップリング解析【JST・京大機械翻訳】

Kinetostatics Modeling and Decoupling Analysis of a Crosshair Flexures-Based Nanopositioner
著者 (4件):
資料名:
号: IDETC-CIE2017  ページ: Null  発行年: 2017年 
JST資料番号: A0478C  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,入力と出力デカップリングを考慮し,レバー増幅機構,複合平行四辺形機構,および新しいクロスヘアたわみから成る2自由度並列ナノポジショアを提案した。クロスヘア撓みのデカップリング性能改良を実証するために,クロスヘアたわみの剛性モデルおよびナノポジショナのキネトスタティックモデルを,Castiglianoの定理およびコンプライアンスマトリックス法に基づいて確立した。従って,入力と出力デカップリングコンプライアンスマトリックスモデルを導出し,クロスヘアたわみベースのナノポジショナの優れたデカップリング特性を実証し,有限要素解析と実験結果によってさらに検証した。プロトタイプ段階における開ループ実験は,ナノポジショナの最大ストロークが65μmまでであり,交差軸結合誤差が1.6%未満であることを示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (5件):
分類
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伝送線  ,  電気式制御機器  ,  核酸一般  ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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