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J-GLOBAL ID：202102246083719780   整理番号：21A0162308

ソフトリソグラフィーを用いたクラフト状糊パターン形成薄膜の研究【JST・京大機械翻訳】

Study of Krafty Glue patterning thin films using soft lithography

著者 (1件)： Ravisankar M.S. (Division of Physics, Department of Science and Humanities, Saveetha School of Engineering, Saveetha Institute of Medical and Technical Sciences, Chennai - 602 105, Tamil Nadu, India)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 33  号： P7  ページ： 4082-4083  発行年： 2020年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,ソフトインプリントリソグラフィーを用いて,Krafty Glueパターニング薄膜を扱う。低コストでのマイクロ構造の製造は便利な方法である。Krafty Glue薄膜を,マスターとして使用するスピンコーティング法とSONY-CD-700MB-Al層を用いて,白色クラフトGlue溶液で作製した。Al層はナノメータ範囲の高さとマイクロメータ範囲の幅を有する。ソフトインプリントリソグラフィーを用いてパターンのレプリカを作成し,白色接着剤とPVDF膜上にAl層のナノパターンを転写することに成功した。原子間力顕微鏡(AFM)を用いて,パターン,モルフォロジーおよび構造研究の変換を行った。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *薄膜 ,  接着剤 ,  マイクロメータ ,  *糊剤 ,  ポリフッ化ビニリデン ,  *パターン形成 ,  原子間力顕微鏡 ,  スピンコーティング ,  モルフォロジー
準シソーラス用語： ローコスト ,  インプリントリソグラフィー ,  *ソフトリソグラフィー ,  PVDF膜 ,  ナノパターン ,  ミクロ構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： クラフト接着剤 ,  パターン ,  PVDF ,  CD ,  Al層

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ソフトリソグラフィー ,  糊 ,  パターン形成 ,  薄膜 ,  研究