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J-GLOBAL ID：202102248754829013   整理番号：21A0006710

噴霧熱分解により成長させたV_2O_5薄膜のアニーリング後の表面形態進展に関するAFM研究【JST・京大機械翻訳】

AFM studies on surface morphology evolution after annealing of V₂O₅ thin films grown by spray pyrolysis

著者 (9件)： Pachiu C. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies,Voluntari-Bucharest,ROMANIA,077190) ,  Carp M. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies,Voluntari-Bucharest,ROMANIA,077190) ,  Mouratis K. (Hellenic Mediterranean University,Center of Materials Technology and Photonics, School of Engineering,Crete,Greece,71410) ,  Tudose I.V. (Hellenic Mediterranean University,Center of Materials Technology and Photonics, School of Engineering,Crete,Greece,71410) ,  Romanitan C. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies,Voluntari-Bucharest,ROMANIA,077190) ,  Tutunaru O. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies,Voluntari-Bucharest,ROMANIA,077190) ,  Couris S. (University of Patras,Physics Department,Patras,Greece,26500) ,  Koudoumas E. (Hellenic Mediterranean University,Center of Materials Technology and Photonics, School of Engineering,Crete,Greece,71410) ,  Suchea M.P. (National Institute for Research and Development in Microtechnologies,Voluntari-Bucharest,ROMANIA,077190)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： CAS  ページ： 191-194  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,V_2O_5エレクトロクロミック薄膜のアニーリング後の表面形態進展に関する原子間力顕微鏡研究に関するものである。低温(250°C)での堆積法スプレー蒸着とそれに続く400°Cでの酸素中での熱アニーリングにより,新しいタイプのナノ構造V_2O_5薄膜の成長を観察した。エレクトロクロミック性は膜活性表面寸法と構造に依存するので,AFM研究を実施し,表面関連パラメータを推定した。すべての試料の表面粗さと粒径は,サイクリックボルタンメトリー測定中に移動した電荷との直接関係を示した。V_2O_5膜の表面形態を解析するために,平均粗さ,谷高さに対する最大ピーク,二乗平均平方根(RMS)粗さおよび表面歪パラメータを推定した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *焼なまし ,  低温 ,  *薄膜 ,  酸素 ,  粒径 ,  実効値 ,  蒸着 ,  サイクリックボルタンメトリー ,  原子間力顕微鏡 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： 表面歪 ,  *表面形態 ,  *噴霧熱分解法 ,  熱アニーリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (8件)： 噴霧熱分解 ,  成長 ,  薄膜 ,  アニーリング ,  表面形態 ,  進展 ,  AFM ,  研究