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J-GLOBAL ID：202102249691153273   整理番号：21A0696808

マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討

Basic Research on Stereophonic Projection Lithography Using Magic Mirror Optics

著者 (2件)： 堀内敏行 (東京電機大 工) ,  小林宏史 (東京電機大 工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.9p-Z25-1  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.はじめに.曲面上にリソグラフィによりパターン形成する研究は非常に少なく、そのほとんどはレーザや荷電ビームによる円筒面や球面へのパターン描画である。今回、露光領域内の任意の緩曲面全面に、一括して一度にパターン形成できる新たな方法を考え、基...【本文一部表示】

シソーラス用語： 電子ビーム ,  照明 ,  *光学系 ,  開口 ,  *露光 ,  教材 ,  *リソグラフィー ,  立体画像 ,  放物面鏡 ,  三次元 ,  *フォトリソグラフィー ,  パターン形成 ,  パターン転写
準シソーラス用語： 反射光 ,  透過光 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： マジック ,  ミラー ,  光学系 ,  立体 ,  投影 ,  露光 ,  リソグラフィ ,  基礎