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J-GLOBAL ID:202102250146055701   整理番号:21A0046910

キャリア選択的接触に基づくN型結晶シリコン電池の不動態化特性研究【JST・京大機械翻訳】

Passivation Characteristics of N-Type Crystal Silicon Cell Based on Carrier Selective Contact
著者 (7件):
資料名:
巻: 49  号:ページ: 1631-1635,1645  発行年: 2020年 
JST資料番号: W0398A  ISSN: 1000-985X  CODEN: RJXUEN  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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キャリア選択接触構造のN型結晶シリコン電池の不動態化特性を研究するために、本文は特別の材料構造を設計した。アニーリング後,堆積SiNx:H薄膜と焼結後,異なるドーピング濃度分布をもつ材料の構造を,比較し,そして,その不動態化機構を,解析した。研究結果は,開回路電圧がドーピング濃度分布に非常に敏感であることを示した。ドーピング濃度分布がシリコンマトリックスに侵入する”浸透”深さが増すにつれ、対応するアニーリング後、SiNx;H薄膜堆積後および焼結後,開回路電圧は,最初に増加して,次に減少し,そして,SiNxは,堆積した。H薄膜の後,開回路電圧の増加幅は,徐々に減少し,一方,焼結後,開回路電圧は,異なる振幅で減少し,そして,開回路電圧は,徐々に減少した。適切なドーピングプロセスにより,焼結後の平均開回路電圧は738mVに達した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】
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半導体薄膜 
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