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J-GLOBAL ID:202102250265448795   整理番号:21A0984858

5G音響フィルタ用の革新的スマートカットTMピエゾオンインシュレータ(POI)基板【JST・京大機械翻訳】

Innovative Smart CutTM Piezo On Insulator (POI) Substrates for 5G acoustic filters
著者 (10件):
資料名:
巻: 2020  号: IEDM  ページ: 34.6.1-34.6.4  発行年: 2020年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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5G標準実装は音響フィルタレベルで大きな課題を駆動し,革新的な解決策を必要とする。有望なアプローチは,シリコン基板上に結合した薄いLiTaO_3圧電結晶層と結合した表面音響波技術,いわゆるPOI基板と呼ばれるが,体積製造解に悩まされている。Smart CutTM層転送技術がどのようにそれを可能にするかを報告する。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
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