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J-GLOBAL ID:202102250446116756   整理番号:21A0577599

メッシュP接触による深紫外GaN発光ダイオードにおける光抽出の改善【JST・京大機械翻訳】

Improvement of Light Extraction in Deep Ultraviolet GaN Light Emitting Diodes with Mesh P-Contacts
著者 (4件):
資料名:
巻: 10  号: 17  ページ: 5783  発行年: 2020年 
JST資料番号: U7135A  ISSN: 2076-3417  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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GaNベースの発光ダイオード(LED)の発光効率が300nmより短い発光波長が低光抽出効率(LEE)であるので,主要な理由の1つが著しく減少した。特に,深紫外(DUV)LEDでは,脱出円錐の外で伝搬し,半導体または基板層に反射する光は,活性層だけでなく,DUV波長の透明も反射もない狭いバンドギャップと電極を持つp型層によっても吸収される。本報告では,LEEを改良するための反射層としてメッシュp-GaN/インジウム-スズ-酸化物(ITO)接触とTi/Al/Ni/Au層を有するDUV LED構造を提案した。メッシュp-GaN/ITO DUV LEDは,280nmでの光吸収が低いため,従来のDUV LEDより12%高い出力を示した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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発光素子 
引用文献 (33件):
  • Nakamura, S.; Senoh, M.; Mukai, T. High-Power InGaN/GaN double-heterostructure violet light emitting diodes. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 2390-2392.
  • Chichibu, S.F.; Abare, A.C.; Minsky, M.S.; Keller, S.; Fleischer, S.B.; Bowers, J.E.; Hu, E.; Mishra, U.K.; Coldren, L.A.; DenBaars, S.P.; et al. Effective band gap inhomogeneity and piezoelectric field in InGaN/GaN multiquantum well structures. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 2006-2008.
  • Simon, J.; Protasenko, V.; Lian, C.; Xing, H.; Jena, D. Polarization induced hole doping in wide-band-gap uniaxial semiconductor heterostructures. Science 2010, 327, 60-64.
  • Goepfert, I.D.; Schubert, E.F.; Osinsky, A.; Norris, P.E.; Faleev, N.N. Experimental and theoretical study of acceptor activation and transport properties in p-type AlxGa1-x N/GaN superlattices. J. Appl. Phys. 2000, 88, 2030-2038.
  • Lee, Y.; Hwang, J.; Hsu, T.; Hsieh, M.; Jou, M.; Lee, B.J.; Lu, T.-C.; Kuo, H.C.; Wang, S. GaN-Based LEDs with Al-deposited V-shaped sapphire facet mirror. IEEE Photonics Technol. Lett. 2006, 18, 724-726.
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