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J-GLOBAL ID:202102250653351841   整理番号:21A0113714

非球面反射鏡の有効通光口径の定量化検出方法【JST・京大機械翻訳】

A Quantitative Testing Method for the Effective Clear Aperture of Aspheric Mirrors
著者 (6件):
資料名:
巻: 41  号:ページ: 38-46  発行年: 2020年 
JST資料番号: C3878A  ISSN: 1009-8518  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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有効通光口径は非球面反射鏡の重要な指標パラメータであるが、現有の検査プロセスでは、定量化しにくい測定、試験誤差が大きいなどの問題があり、後続システムの再計算過程において、画像品質を正確に評価することが難しい。これらの問題を解決するために,非球面反射鏡の実効光口径を,干渉検出段階で非線形誤差補正によって検出する方法を提案した。最初に,一連の干渉計CCD座標と測定反射鏡座標の座標点データを,光線追跡法によって得た。次に,座標点データの多項式関数フィッティングを行い,非線形誤差関数を確立した。最後に、干渉計CCD座標系のスケールにおける有効干渉縞図形を入力とし、鏡面スケールにおける反射鏡の実効通光口径を逆計算した。工学応用の実例において、あるモデル空間カメラの1枚のメートル級非球面反射鏡に対して実際の検査を行い、単辺の測量精度が干渉計の1つの画素に対応する鏡面スケール誤差であり、しかもこの方法のテスト誤差はテストシステムの中にある干渉計CCDの平均解像度の大きさに大きく依存する。補正の前後の反射鏡パラメータをシステム中に代入して計算し、光学システムの変調伝達関数MTF値の偏差は0.013@71.5線対/mmに達した。結果は,本方法が,加工過程の間,反射鏡の有効な通光口径をリアルタイムでモニターするだけでなく,また,宇宙光学素子の先進製造の分野において,重要な工学応用の意義を持つ,カメラの地上調整段階における光学系のイメージング品質を正確に評価することができることを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】
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光デバイス一般 
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