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J-GLOBAL ID：202102250915314573   整理番号：21A2346755

高分子被覆膜バルク音響共振器(FBAR)に基づく揮発性有機化合物(VOC)センサの周波数特性に及ぼす外部膨潤応力の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of external swelling stress on the frequency characteristics of a volatile organic compound (VOC) sensor based on a polymer-coated film bulk acoustic resonator (FBAR)

著者 (4件)： Guo Huihui (School of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology, Mianyang, China) ,  Guo Aohui (Tibet Agriculture and Animal, Husbandry University, Linzhi, China) ,  Gao Yang (School of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology, Mianyang, China) ,  Liu Tingting (School of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology, Mianyang, China)
資料名： Instrumentation Science & Technology  (Instrumentation Science & Technology)
巻： 48  号： 4  ページ： 431-442  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0931A  ISSN： 1073-9149  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 膜バルク音響共振器(FBAR)は,ガスおよび生化学分析のための重量センサとして広く応用されている。これらのデバイスに対して,センシング層は,通常,Sauerbrey関係に従って周波数応答に基づく定性分析のためにFBARに被覆されている。揮発性有機化合物(VOC)モニタリングのためのセンシング膜として,種々の高分子を用いた。最も重要な研究はセンシング材料を開発し,圧電膜を最適化し,センサの性能を改善した。しかし,FBARの共振周波数に及ぼす蒸気吸収中のセンシング膜に及ぼす膨潤応力の影響は,しばしば無視される。本研究では,高分子被覆FBARに基づくセンサの周波数特性に及ぼす膨潤応力の影響を詳細に調べた。応力負荷の存在におけるFBARにおける圧電(AlN)層の弾性係数と音波速度変化を第一原理法で計算した。センサのMasonモデルと組み合わせて,膨潤応力下のFBARの共振周波数シフトを得た。その結果,FBARの振動数シフトは,FBARセンサベース操作にマイナスの影響を誘起する膨潤応力の増加とともに増強されることが分かった。蒸気センシング性能を改善するために,センシング膜の最適厚さを評価する必要がある。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *音響共振器 ,  音速 ,  最適化 ,  周波数応答 ,  弾性係数 ,  *膨潤 ,  定性分析 ,  圧電気 ,  *高分子 ,  生化学的分析 ,  *皮膜 ,  窒化アルミニウム ,  共振周波数 ,  *揮発性有機化合物
準シソーラス用語： *FBAR , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 揮発性有機化合物(VOC) ,  フィルムバルク音響共振器(FBAR) ,  高分子 ,  膨潤応力 ,  マソンモデル

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (10件)： 高分子 ,  被覆膜 ,  バルク ,  音響共振器 ,  FBAR ,  揮発性有機化合物 ,  VOC ,  周波数特性 ,  膨潤 ,  応力