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J-GLOBAL ID：202102250928327991   整理番号：21A0233041

超臨界流体中でのナノ秒パルスレーザアニーリング後の窒化炭素ナノ柱状膜の構造特性【JST・京大機械翻訳】

Structural Features of Carbon Nitride Nanocolumnar Films after Nanosecond Pulsed Laser Annealing in a Supercritical Fluid

著者 (5件)： Prudnikov Anatolii (Donetsk Institute for Physics and Engineering named after O.O. Galkin of the NAS of Ukraine,Department of high pressure physics and prospective technologies,Kyiv,Ukraine) ,  Pashkevich Yurii (Donetsk Institute for Physics and Engineering named after O.O. Galkin of the NAS of Ukraine,Department of theory of dynamic properties of complex systems,Kyiv,Ukraine) ,  Dmitrenko Victoria (Donetsk Institute for Physics and Engineering named after O.O. Galkin of the NAS of Ukraine,Department of high pressure physics and prospective technologies,Kyiv,Ukraine) ,  Pas’ko Mariya (Donetsk National Medical University,Ministry of Health of Ukraine,Department of Medical Physics and Information Technologies 1,Lyman,Ukraine) ,  Chishko Vyacheslav (Donetsk Institute for Physics and Engineering named after O.O. Galkin of the NAS of Ukraine,Department of material science,Kyiv,Ukraine)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： NAP  ページ： 01TFC24-1-01TFC24-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザパルスの強度および膜密度に依存するナノ柱状CN_x:O膜の構造特性に及ぼすパルスレーザ照射の影響を調べた。レーザーアニーリングを液体中に置いた窒化炭素膜に対して行った。パルスレーザ照射の影響後のナノ柱状CN_x:O膜の構造変化をRaman分光法により決定した。アニーリング手順の後,膜の窒素/炭素比はレーザ照射強度増加の下で増加することがわかった。構造変化のためのレーザアニーリングの効率がナノ柱状構造の密度に依存することを,走査電子顕微鏡とRaman分光法の方法によって確立した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *焼なまし ,  走査電子顕微鏡 ,  *炭素 ,  窒素 ,  *窒化 ,  レーザ照射 ,  レーザパルス ,  *レーザアニーリング ,  パルスレーザ照射 ,  Raman分光法 ,  *超臨界流体
準シソーラス用語： *窒化炭素 ,  炭素膜 ,  *ナノコラム ,  構造変化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超臨界流体 ,  ナノ秒パルスレーザ ,  アニーリング ,  窒化炭素 ,  ナノ柱 ,  構造特性