抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体産業におけるウエハレベル包装(WLP)は,特に,IOT,高速/移動性,センサ,ウェアラブル,自動車および他の重要な応用の分野で,成長を続けている。これらの市場からの製品の要求は,より小さなフットプリントを含み,最適に電気的に,費用対効果が高く,信頼性が高い。WLP材料/化学は,半導体製造者,OEMsが最良の性能を達成するために,これらの要求を達成する上で重要な部品である。最も重要な材料の1つは,相互接続統合をサポートするための銅の特徴上の表面仕上げを含む。高周波,高密度次世代WLP応用に対する表面仕上げの選択基準は,最小挿入損失,長いシェルフライフ,コスト効率および高信頼性を含む。市場で利用可能なオプション(ImAg,EPIG,EPAG,DIG,OSPなど)はほとんどない。しかし,次世代アプリケーションに対するすべての要求を満足させる懸念がある。最外の金層で仕上げた銅接触をコートするために設計された,専用のナノ工学バリアを含む革新的ニッケル無しアプローチは,同時性を超える優れた利点を示した。信頼性試験結果を,新しい表面仕上げの性能利点を比較して考察した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】