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J-GLOBAL ID:202102251040126575   整理番号:21A0876298

管および板基板上の種々のPVD硬質被覆上の残留応力【JST・京大機械翻訳】

Residual Stresses on Various PVD Hard Coatings on Tube and Plate Substrates
著者 (7件):
資料名:
巻: 10  号: 11  ページ: 1054  発行年: 2020年 
JST資料番号: U7162A  ISSN: 2079-6412  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,平均残留応力を,硬質PVD nACRo(nc-AlCrN/a-Si_3N_4),nACo(nc-AlTiN/a-Si_3N_4),AlCrN,TiAlN,およびTiCN市販コーティングにおいて,板基板のたわみおよび薄肉管状基板における長さ変化の同時測定を通して決定した。長さ測定ユニットを用いて,管状基板の任意の長さ変化を測定した。チューブ長さの変化は,変形が4つの歪ゲージを用いて測定された弾性要素の中央断面のたわみに減少した。被覆の断面ミクロ組織と厚さを走査型電子顕微鏡(SEM)により調べ,エネルギー分散X線分光法(EDS)により被覆と基板の化学組成を決定した。両方法で決定した平均圧縮残留応力の値は,被覆厚さに関係なく,非常に高い(2.05と6.63GPaの間で変化)が,基板の形状および回転カソードの軸に関連した位置に依存した。2つの平行固定(例えば,6.8mの前面表面のnACRoコーティング,および2.9mの後部表面)と管状基板(10.0m)の板上に堆積された皮膜の厚さは,著しく異なった。被覆におけるより高い平均圧縮残留応力は,現場摩耗試験中に得られたより高い平均相対摩耗抵抗と相関する。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  金属材料へのセラミック被覆 
引用文献 (25件):
  • Gonzalo, O.; Navas, V.G.; Coto, B.; Bengoetxea, I.; de Gopegi, U.R.; Etxaniz, M. Influence of the coating residual stresses on the tool wear. Proc. Eng. 2011, 19, 106-111.
  • Quinto, D.T. Twenty-five years of PVD coatings at the cutting edge. Fall Bull. 2007, 17-22. Available online: https://www.svc.org/DigitalLibrary/documents/2007_Fall_DTQ.pdf (accessed on 28 October 2020).
  • Kumar, T.S.; Prabu, S.B.; Manivasagam, G.; Padmanabhan, K.A. Comparison of TiAlN, AlCrN and AlCrN/TiAlN coatings for cutting-tool applications. Int. J. Min. Met. Mater. 2014, 21, 796-805.
  • Koch, R. Stress in Evaporated and Sputtered Thin Films-A Comparison. Surf. Coat. Technol. 2010, 204, 1973-1982.
  • Soroka, O.B. Evaluation of residual stresses in PVD-coatings. Part 1. Review. Strength Mater. 2010, 42, 287-296.
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