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J-GLOBAL ID：202102251214235305   整理番号：21A1876679

調整可能な広帯域および平坦周波数帯域を持つ新しい圧電微細加工超音波変換器【JST・京大機械翻訳】

A Novel Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer with Adjustable Broad and Flat Frequency Band

著者 (5件)： Wang Lei (Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China,430072) ,  Zhu Wei (Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China,430072) ,  Wu Zhipeng (Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China,430072) ,  Liu Wenjuan (Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China,430072) ,  Sun Chengliang (Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China,430072)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2021  号： NEMS  ページ： 656-659  発行年： 2021年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,Cr-pMUTと呼ばれる液体結合操作において,調整可能な大きな平坦周波数帯を有する修正圧電マイクロマシン超音波変換器(pMUT)を提示した。pMUTの中心と放出孔の空洞は,同じ製作ステップによって形成され,空洞サイズと空洞とpMUT(壁厚さ)の間の相対位置は,周波数帯の幅と平坦性を決定する。本研究では,Cr-pMUTの等価回路モデルを導入し,広帯域性能の理由であるクロストーク挙動を表した。理論解析とパラメータ最適化によって,広帯域で平坦な周波数帯を達成し,帯域幅を調整する簡単な方法を提供した。r-pMUTと従来のpMUTと比較して,Cr-pMUTはFC-84において同じダイヤフラムサイズで,それぞれ6%と537%の広い-3dB周波数帯を達成した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *超音波変換器 ,  平坦性 ,  *圧電気 ,  ダイヤフラム ,  帯域幅 ,  *広帯域 ,  *微細加工 ,  *周波数帯 ,  マイクロマシン ,  クロストーク
準シソーラス用語： パラメータ最適化 ,  理論解析 ,  等価回路モデル ,  壁厚 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 広帯域 ,  平坦 ,  周波数帯域 ,  圧電 ,  微細加工 ,  超音波変換器