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J-GLOBAL ID：202102253615480048   整理番号：21A0003323

真空および極端紫外放射への暴露による温度のセンサーとしての窒素空孔欠陥を含むダイヤモンドの光ルミネセンス【JST・京大機械翻訳】

Photoluminescence of diamond containing nitrogen vacancy defects as a sensor of temperature upon exposure to vacuum- and extreme-ultraviolet radiation

著者 (4件)： Lu Hsiao-Chi (National Synchrotron Radiation Research Center, 101 Hsin-Ann Road, Hsinchu Science Park, Hsinchu 300, Taiwan. [e-mail]) ,  Lo Jen-Iu ,  Peng Yu-Chain ,  Cheng Bing-Ming
資料名： Physical Chemistry Chemical Physics  (Physical Chemistry Chemical Physics)
巻： 22  号： 46  ページ： 26982-26986  発行年： 2020年 
JST資料番号： A0271C  ISSN： 1463-9076  CODEN： PPCPFQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空紫外(VUV)と極端紫外(EUV)照射による励起で,窒素空孔(DNV)を有するダイヤモンドは550~800nmの波長領域で強い光ルミネセンス(PL)を発光する。PLスペクトルにおけるDNVのスペクトルプロフィルはダイヤモンドの温度に強く依存するように見えた。さらに,すべてのPLスペクトルは1つの等吸収点,570nmで交差した。この結果は,ダイヤモンドのNV0とNV-欠陥がVUVとEUV照射で互いに相互変換する証拠である。VUVまたはEUV光で励起したDNVのPLスペクトルの使用を示唆し,半導体素子の製造のためのナノフォトリソグラフィー技術のような応用に対する温度を示した。Copyright 2021 Royal Society of Chemistry All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 半導体素子 ,  *光ルミネセンス ,  *ダイヤモンド ,  *窒素 ,  スペクトル ,  相互変換 ,  センサ ,  フォトリソグラフィー ,  *極端紫外線
準シソーラス用語： 波長領域 ,  光ルミネセンススペクトル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (9件)： 真空 ,  極端紫外 ,  放射 ,  暴露 ,  センサー ,  窒素 ,  空孔欠陥 ,  ダイヤモンド ,  光ルミネセンス