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J-GLOBAL ID：202102254470929285   整理番号：21A0590075

ウエハレベルマイクロキャスティング技術を用いて作製したシリコンチップベースの電磁振動エネルギーハーベスタ【JST・京大機械翻訳】

Silicon-chip based electromagnetic vibration energy harvesters fabricated using wafer-level micro-casting technique

著者 (11件)： Han Ruofeng (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, People’s Republic of China) ,  Han Ruofeng (School of Microelectronics, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People’s Republic of China) ,  Wang Nianying (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, People’s Republic of China) ,  Wang Nianying (School of Microelectronics, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People’s Republic of China) ,  Wang Nianying (School of Information Science and Technology, Shanghai Tech University, Shanghai 201210, People’s Republic of China) ,  Wang Jiachou (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, People’s Republic of China) ,  Wang Jiachou (School of Microelectronics, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People’s Republic of China) ,  Gu Jiebin (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, People’s Republic of China) ,  Li Xinxin (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, People’s Republic of China) ,  Li Xinxin (School of Microelectronics, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People’s Republic of China) ,  Li Xinxin (School of Information Science and Technology, Shanghai Tech University, Shanghai 201210, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 31  号： 3  ページ： 035009 (10pp)  発行年： 2021年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,オンチップ統合3D金属ソレノイドと磁石滑りチャネルを形成するために,ウエハレベルマイクロ鋳造技術で製作したシリコンチップベースの電磁(EM)振動エネルギーハーベスタを報告する。150-ターンコイルの多くのソレノイドは,溶融ZnAl_x合金を,7分以内に1つのウエハでプレマイクロマシンソレノイド鋳型に充填することによって同時に形成される。ソレノイドチップを得るための鋸ダイシング後,環境振動に応答する滑り永久磁石をソレノイド内のプレエッチングシリコンチャネルに挿入した。外部振動によって励起されて,磁石はチャネルでスライドして電力を発生する。マイクロ電気機械システム(MEMS)ハーベスタチップのサイズは10.5×2.5×1.7mm3である。実験結果は,エネルギーハーベスタが環境中の振動エネルギーを効率的に収集できることを示した。24Hzの周波数で49ms-2(すなわち5g)の励起加速振幅の下で,ハーベスタから発生した正規化出力密度(NPD)は12.38μWcm-3g-2に達した。報告した非MEMSワイヤウウンドEMハーベスタとオンチップ圧電/静電素子と比較して,このシリコンチップベースEMハーベスタは,はるかに優れたNPDを示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  合金 ,  磁石 ,  励起 ,  電力 ,  鋳造 ,  永久磁石 ,  圧電気 ,  *振動エネルギー ,  ソレノイド形コイル ,  三次元 ,  MEMS
準シソーラス用語： *電磁振動 ,  オンチップ ,  *エネルギーハーベスタ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の発電  (NB03140M)

タイトルに関連する用語 (4件)： 作製 ,  シリコンチップ ,  電磁振動 ,  エネルギーハーベスタ