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J-GLOBAL ID:202102254972845675   整理番号:21A0695891

フローティングパルスプローブ法による電子温度の測定

Measurement of electron temperature by floating pulsed probe method
著者 (3件):
資料名:
巻: 81st  ページ: ROMBUNNO.8a-Z04-10  発行年: 2020年08月26日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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はじめに.プラズマを測定する基礎的な方法として、ラングミュアプローブ(LP)法が挙げられる。しかし、プローブ表面の絶縁物の影響などから、プローブ特性を解析することによって得られるプラズマパラメータに誤差が発生してしまう。そこで、当研究グルー...【本文一部表示】
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プラズマ診断 
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