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J-GLOBAL ID：202102255469529263   整理番号：21A1821992

新しい定在波デバイスを用いたパターン形成微細構造アレイの作製【JST・京大機械翻訳】

Patterned Microstructure Array Fabrication by Using a Novel Standing Surface Acoustic Wave Device

著者 (4件)： Wang Yancheng (Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Xue Dai (Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Deng Zhaoxin (Zhejiang University, Hangzhou, China) ,  Mei Deqing (Zhejiang University, Hangzhou, China)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： MSEC2017  ページ： Null  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,紫外線(UV)重合の支援でパターン化した微細構造アレイを作製するため,3対のインターデジタル変換器(IDT)を有する新しい定在表面音響波(SAW)デバイスを開発した。SAWデバイスの作動原理,構造設計,および製作を提示した。次に,実験セットアップを行い,薄い液体高分子表面上のパターン化微細構造アレイの製造プロセスと方法を研究した。入力波長と作動電圧を調整し,IDTの対を選択することにより,異なる表面形態を有する線形アンジュゲートと格子状アンジュートのような,いくつかのタイプのパターン化微細構造アレイを製造できた。結果はまた,UV重合の支援による開発したSAWデバイスがパターン化した微細構造アレイを作製する有効な方法であり,生物医学およびマイクロエレクトロニクス分野の応用に大きな可能性を有することを示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 紫外線 ,  電圧 ,  波長 ,  重合 ,  高分子 ,  弾性表面波 ,  構造設計 ,  弾性表面波素子 ,  *定在波 ,  マイクロエレクトロニクス ,  生産工程 ,  *パターン形成
準シソーラス用語： 表面形態 ,  生物医学 ,  動作原理 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 定在波 ,  パターン形成 ,  微細構造 ,  アレイ ,  作製