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J-GLOBAL ID：202102255794347415   整理番号：21A2219010

X線顕微鏡(CT)nano3DXによる電子部品観察

著者 (1件)： 武田佳彦 (リガク X線研)
資料名： リガクジャーナル(Web)  (Rigaku Journal (Web))
巻： 50  号： 1  ページ： 30-33 (WEB ONLY)  発行年： 2019年04月21日 
JST資料番号： U2454A  ISSN： 1883-8456  CODEN： RJIAAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・非破壊で微小な3次元観察が可能なX線マイクロCTに対して,近年,電子部品の内部微細構造あるいは有機物材料など,対象試料のニーズが拡大。
・透過力の強い白色X線を発生するタングステンターゲットを採用し,加速電圧を上げることで透過率を向上させ,金属材料の高空間分解能観察が可能なX線顕微鏡を開発。
・開発した装置で積層チップインダクターを測定し,内部のコイル構造の明確な把握やμmオーダーの空隙観察結果を示し,製品評価や故障解析に実用できることを紹介。
・サンプルサイズがより大きなスマートフォンを測定し,測定角度の大部分におけるX線の十分な透過により高解像度での内部構造観察が可能であることを実証。

シソーラス用語： *X線顕微鏡 ,  *X線CT ,  分析機器 ,  タングステン ,  固有X線 ,  *空間分解能 ,  *電子部品 ,  金属材料 ,  透過率 ,  非破壊検査 ,  内部構造
準シソーラス用語： *X線マイクロトモグラフィー ,  *高空間分解能

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  電気・電子部品一搬  (NA05010H)

引用文献 (7件)：

• Hounsfield, GN. Br. J. Radiol. 46 (1973), 1022-1047.
• リガクジャーナル,47(2016), No. 1, 39-41.
• リガクジャーナル,49(2018), No. 2, 37-39.
• リガクジャーナル,43(2012), No. 2, 28-30.
• 武田佳彦:リガクジャーナル,44(2013), No. 1,16-20.

タイトルに関連する用語 (4件)： X線顕微鏡 ,  CT ,  電子部品 ,  観察