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J-GLOBAL ID：202102258854276036   整理番号：21A0614890

表面欠陥のためのスポット走査検出システムにおけるキャリブレーションと画像再構成【JST・京大機械翻訳】

Calibration and Image Reconstruction in a Spot Scanning Detection System for Surface Defects

著者 (5件)： Wu Fan (State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, Department of Optical Engineering, Zhejiang University, 38 Zheda Road, Hangzhou 310027, China) ,  Cao Pin (Zernike Optics Co., Ltd., 10 Shengang Road, Hangzhou 310027, China) ,  Du Yubin (State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, Department of Optical Engineering, Zhejiang University, 38 Zheda Road, Hangzhou 310027, China) ,  Hu Haotian (State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, Department of Optical Engineering, Zhejiang University, 38 Zheda Road, Hangzhou 310027, China) ,  Yang Yongying (State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, Department of Optical Engineering, Zhejiang University, 38 Zheda Road, Hangzhou 310027, China)
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 10  号： 7  ページ： 2503  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来のアプローチと比較して,スポット走査表面欠陥評価システム(SS-SDES)は,光学表面のための小さな欠陥と欠陥分類の検出に関してより良い性能を有した。しかしながら,既存のシステム偏差は,走査トレースに基づく取得生データから再構成される欠陥画像において,歪みおよび欠損領域さえ生じ,その結果,検出結果の信頼性を劣化させる。これらの問題を解決するために,これらの偏差のパラメタリゼーションと実際の走査トレースのモデリングによって,システムキャリブレーション法を提案した。画像における真直性とスケール誤差を特性化するための制約関数を定義した。次に,最適化を実行して,それを最小にして,したがって,システムの偏差の最適推定を得て,次に,このシステムを調整し,信頼できる欠陥画像を再構成するために使用する。さらに,画像品質をさらに強化するために,重み付き平均戦略を通して信号雑音を抑圧できる画像再構成法を提案した。実験は,著者らの方式によって,システム偏差が効果的に補正され,1.8画素以内の低い歪みを有する完全で正確な欠陥画像が再構成されることを示した。したがって,システムの検出精度と信頼性を改良できる。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  雑音 ,  信頼性 ,  真直度 ,  画素 ,  画質 ,  表面欠陥 ,  再構成 ,  キャラクタリゼーション ,  パラメタリゼーション ,  *画像再構成
準シソーラス用語： 評価システム ,  検出精度 ,  最適推定 ,  生データ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 欠陥検出 ,  キャリブレーション ,  画像再構成 ,  スポット走査 ,  光学的検査

分類 (5件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  非破壊試験  (HB02030F)

引用文献 (24件)：

• Thompson, C.E.; Knopp, C.F.; Decker, D.E. Optics damage inspection for the NIF. In Proceedings of the Third International Conference on Solid State Lasers for Application to Inertial Confinement Fusion, Monterey, CA, USA, 7-12 June 1998; pp. 921-933.
• Demos, S.; Staggs, M.; Minoshima, K.; Fujimoto, J. Characterization of laser induced damage sites in optical components. Opt. Express 2002, 10, 1444-1450.
• Kegelmeyer, L.M.; Clark, R.; Leach, R.R., Jr.; Mcguigan, D.; Kamm, V.M.; Potter, D.; Salmon, J.T.; Senecal, J.; Conder, A.; Nostrand, M. Automated optics inspection analysis for NIF. Fusion Eng. Des. 2012, 87, 2120-2124.
• Pishkenari, H.N.; Meghdari, A. Surface defects characterization with frequency and force modulation atomic force microscopy using molecular dynamics simulations. Curr. Appl. Phys. 2010, 10, 583-591.
• Ota, H.; Hachiya, M.; Ichiyasu, Y.; Kurenuma, T. Scanning surface inspection system with defect-review SEM and analysis system solutions. Hitachi Rev. 2006, 55, 78-82.

タイトルに関連する用語 (6件)： 表面欠陥 ,  スポット ,  走査 ,  検出システム ,  キャリブレーション ,  画像再構成