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J-GLOBAL ID：202102259152241801   整理番号：21A0577920

多角ステッチングディジタルホログラフィック顕微鏡による大勾配微細構造トポグラフィー測定【JST・京大機械翻訳】

Large Gradient Micro-Structure Topography Measurement with Multi-Angle Stitching Digital Holographic Microscope

著者 (8件)： Jin Chuan (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Jin Chuan (Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Science, Chengdu 610209, China) ,  He Yu (Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Science, Chengdu 610209, China) ,  Tang Yan (Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Science, Chengdu 610209, China) ,  Xie Zhongye (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Xie Zhongye (Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Science, Chengdu 610209, China) ,  Zhao Lixin (Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Science, Chengdu 610209, China) ,  Hu Song (Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Science, Chengdu 610209, China)
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 10  号： 17  ページ： 6110  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ディジタルホログラフィック顕微鏡(DHM)に基づく大きな勾配微細構造のトポグラフィー特性化のための効果的な方法を示した。DHMシステムの数値開口の限界のため,試料の大きな勾配領域に対応する高周波情報は,画像システムの入力から禁止され,そして,試料特徴の完全な収集は実行できない。この問題を解決するため,試料の多重角度からホログラムを捕獲するために軸外DHMシステムの共通配置を用い,異なる傾斜角のサンプルから来る様々な物体波を補正し,多重角度ステッチングプロセスにより完全トポグラフィーに接合した。この方法で,試料の大きな勾配トポグラフィーの測定を実現できる。大きな勾配マイクロレンズの実験結果は,提示した方法の実用性と精度を実証した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微細構造 ,  ホログラム ,  HF【周波数】 ,  *多重化 ,  傾斜角 ,  キャラクタリゼーション ,  開口数 ,  マイクロレンズ
準シソーラス用語： ディジタルホログラフィー ,  実用性 ,  イメージングシステム ,  ステッチ溶接 ,  *デジタルホログラフィック顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 多角ステッチング ,  ディジタルホログラフィー顕微鏡 ,  大きな勾配微細構造 ,  トポグラフィー測定

分類 (4件)： ホログラフィーの応用  (BD03074U) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (19件)：

• Steiner, H.; Hortschitz, W.; Kainz, A.; Stifter, M.; Jachimowicz, A.; Schalko, J.; Keplinger, F.; Kohl, F. MOEMS transducer with a non-linear transfer characteristic for static displacement measurement applications on the example of an inclination sensor. Sens. Actuators A Phys. 2017, 263, 727-732.
• Chourasia, R.K.; Prasad, S.; Singh, V. A novel Bragg fiber waveguide based narrow band inline optical filter. Optik 2018, 169, 269-276.
• Carter, S.G.; Birkedal, V.; Wang, C.S.; Coldren, L.A.; Maslov, A.V.; Citrin, D.S.; Sherwin, M.S. Quantum Coherence in an Optical Modulator. Science 2005, 310, 4.
• Haffner, C.; Heni, W.; Fedoryshyn, Y.; Niegemann, J.; Melikyan, A.; Elder, D.L.; Baeuerle, B.; Salamin, Y.; Josten, A.; Koch, U.; et al. All-plasmonic Mach-Zehnder modulator enabling optical high-speed communication at the microscale. Nat. Photon 2015, 9, 525-528.
• Li, K.; Yöntem, A.Ö.; Deng, Y.; Shrestha, P.; Chu, D.; Zhou, J.; Yao, J. Full resolution auto-stereoscopic mobile display based on large scale uniform switchable liquid crystal micro-lens array. Opt. Express 2017, 25, 9654.

タイトルに関連する用語 (5件)： ステッチング ,  ディジタルホログラフィック顕微鏡 ,  勾配 ,  微細構造 ,  トポグラフィー