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J-GLOBAL ID：202102259516578367   整理番号：21A0876444

被覆ナノ層構造に及ぼす微小液滴の影響の研究【JST・京大機械翻訳】

Investigation of the Influence of Microdroplets on the Coatings Nanolayer Structure

著者 (8件)： Grigoriev Sergey (VTO Department, Moscow State Technological University STANKIN, 127994 Moscow, Russia) ,  Vereschaka Alexey (IDTI RAS, 127994 Moscow, Russia) ,  Milovich Filipp (Materials Science and Metallurgy Shared Use Research and Development Center, National University of Science and Technology MISiS, 119049 Moscow, Russia) ,  Sitnikov Nikolay (Department of Solid State Physics and Nanosystems, National Research Nuclear University MEPhI, 115409 Moscow, Russia) ,  Andreev Nikolay (Materials Science and Metallurgy Shared Use Research and Development Center, National University of Science and Technology MISiS, 119049 Moscow, Russia) ,  Bublikov Jury (IDTI RAS, 127994 Moscow, Russia) ,  Sotova Catherine (VTO Department, Moscow State Technological University STANKIN, 127994 Moscow, Russia) ,  Sadov Ilya (VTO Department, Moscow State Technological University STANKIN, 127994 Moscow, Russia)
資料名： Coatings (Web)  (Coatings (Web))
巻： 10  号： 12  ページ： 1204  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7162A  ISSN： 2079-6412  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,TiTiN(Ti,Cr,Mo,Al)NおよびTiTiN(Ti,Al,Nb,Zr)Nコーティングの構造中に埋込まれた微小液滴の形状および構造の形成に典型的な特定の特徴に焦点を当てた研究結果を示した。3つの主な微小液滴形状球,引裂き,およびレンズを考察した。また,いくつかの微小液滴の表面上の二次層状構造の形成に典型的な特徴を調べた。走査および透過電子顕微鏡を用いて,コーティングのナノ層構造の歪みに及ぼすミクロ液滴の影響を調べた。ミクロ液滴形状と二次構造の存在または不在とミクロ液滴サイズと重量,並びにカソードから堆積表面への微小液滴の移動中の単位室の条件の間の関係に関して仮説を提案した。ミクロ液滴コアの形状およびそれの周りの二次構造の形成に典型的な特定の特徴に焦点を当てた研究に基づき,いくつかの微小液滴に対して,カソードから堆積表面への移動に対して以前に仮定されたよりも多くの時間を要する仮説を提案した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *液滴 ,  電子顕微鏡観察 ,  レンズ ,  *被覆 ,  層状組織 ,  二次構造 ,  透過型電子顕微鏡 ,  液滴径 ,  カソード
準シソーラス用語： *ナノ薄膜 ,  *微小液滴 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ナノ層状PVD被覆 ,  微小液滴 ,  亀裂形成 ,  工具摩耗

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

引用文献 (76件)：

• Boxman, R.; Goldsmith, S. Macroparticle contamination in cathodic arc coatings: Generation, transport and control. Surf. Coat. Technol. 1992, 52, 39-50.
• Steffens, H.-D.; Mack, M.; Moehwald, K.; Reichel, K. Reduction of droplet emission in random arc technology. Surf. Coat. Technol. 1991, 46, 65-74.
• Akari, K.; Tamagaki, H.; Kumakiri, T.; Tsuji, K.; Koh, E.; Tai, C. Reduction in macroparticles during the deposition of TiN films prepared by arc ion plating. Surf. Coat. Technol. 1990, 1990, 312-323.
• Sanders, D.M. Ion beam self-sputtering using a cathodic arc ion source. J. Vac. Sci. Technol. A 1988, 6, 1929-1933.
• Vereshchaka, A.A.; Mgaloblishvili, O.; Morgan, M.; Batako, A.D.L. Nano-scale multilayered-composite coatings for the cutting tools. Int. J. Adv. Manuf. Technol. 2014, 72, 303-317.

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノ層 ,  微小液滴 ,  研究