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J-GLOBAL ID：202102260014851722   整理番号：21A0697157

走査型熱振動顕微鏡法を用いた表面下ナノ粒子可視化-深さ依存性に関する研究-

Visualization of nanoparticles buried in polymer matrixby scanning thermal noise microscopy-burial depth dependence-

著者 (5件)： 船戸開 (京大 工) ,  木村邦子 (京大 工) ,  平田芳樹 (産業技術総合研) ,  小林圭 (京大 工) ,  山田啓文 (京大 工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st  ページ： ROMBUNNO.10p-Z06-7  発行年： 2020年08月26日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 近年、原子間力顕微鏡を用いた表面下可視化技術に関心が向けられている[1]。この技術は、表面下数百ナノメートルにある構造物を非破壊で高分解能観察する手法であり、LSIの内部欠陥検出や生体試料内部の観察など、さまざまな応用に展開して行くことが期...【本文一部表示】

シソーラス用語： ゆらぎ ,  LSI【IC】 ,  二酸化ケイ素 ,  *可視化 ,  *顕微鏡観察 ,  アミノ基 ,  試料調製 ,  高分子膜 ,  感光性高分子 ,  共有結合 ,  高分解能 ,  共振周波数 ,  原子間力顕微鏡 ,  スピンコーティング ,  *ナノ粒子

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 走査型 ,  熱振動 ,  顕微鏡法 ,  ナノ粒子 ,  可視化 ,  深さ依存性 ,  研究