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J-GLOBAL ID：202102260817645720   整理番号：21A0877202

高出力インパルスマグネトロンスパッタリングによるMoS_x被覆の構造的,機械的および摩擦特性の制御【JST・京大機械翻訳】

Controlling the Structural, Mechanical and Frictional Properties of MoSx Coatings by High-Power Impulse Magnetron Sputtering

著者 (8件)： Kokalj David (Institute of Materials Engineering, TU Dortmund University, Leonhard-Euler-Strasse 2, 44227 Dortmund, Germany) ,  Debus Jorg (Experimental Physics 2, TU Dortmund University, Otto-Hahn-Strasse 4a, 44227 Dortmund, Germany) ,  Stangier Dominic (Institute of Materials Engineering, TU Dortmund University, Leonhard-Euler-Strasse 2, 44227 Dortmund, Germany) ,  Moldenhauer Henning (Experimental Physics 2, TU Dortmund University, Otto-Hahn-Strasse 4a, 44227 Dortmund, Germany) ,  Nikolov Alexander (Chair of Fluidics, TU Dortmund University, Leonhard-Euler-Strasse 5, 44227 Dortmund, Germany) ,  Wittig Alexandra (Institute of Materials Engineering, TU Dortmund University, Leonhard-Euler-Strasse 2, 44227 Dortmund, Germany) ,  Bruemmer Andreas (Chair of Fluidics, TU Dortmund University, Leonhard-Euler-Strasse 5, 44227 Dortmund, Germany) ,  Tillmann Wolfgang (Institute of Materials Engineering, TU Dortmund University, Leonhard-Euler-Strasse 2, 44227 Dortmund, Germany)
資料名： Coatings (Web)  (Coatings (Web))
巻： 10  号： 8  ページ： 755  発行年： 2020年 
JST資料番号： U7162A  ISSN： 2079-6412  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 相互作用表面の科学と技術としてのトライボロジーは,典型的には摩擦と摩耗を低減する液体潤滑剤に依存している。環境に優しいトライボロジー目的と液体フリー性能を必要とする用途のために,MoS_2コーティングのような固体潤滑剤は,本質的な役割を果たす。コーティング合成のパラメータとコーティングの特性の間の相互作用を理解することが重要である。高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより合成したMoS_x薄膜の構造,機械的及び摩擦特性に及ぼす堆積パラメータの影響を調べた。膜の形態,トポグラフィーおよび化学量論(2.02<x<2.22)は,特にスパッタリング過程中に印加されたバイアス電圧および加熱電力によって制御された。低パルス周波数と組み合わせて,MoS_x膜の硬度と弾性剛性は,それぞれ2と90GPaまで増強された。この増強は,Mo-S結合長の短縮と原子間結合の強化,および表面での小サイズの微結晶の形成に割り当てられる。摩擦係数は,初期(100)配向を有する膜に対して0.10に減少し,MoS_x膜の平均粗さは,カソードパルスを短くすることによって15nm以下に減少した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微結晶 ,  相互作用 ,  薄膜 ,  摩擦係数 ,  電力 ,  固体潤滑剤 ,  *被覆 ,  核間距離 ,  化学量論 ,  トライボロジー ,  *パルス ,  カソード
準シソーラス用語： *摩擦特性 ,  バイアス電圧 ,  パルス周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 二硫化モリブデン ,  高出力インパルスマグネトロンスパッタリング ,  薄膜 ,  摩擦 ,  非弾性光散乱

分類 (3件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (61件)：

• Brecher, C.; Spachtholz, G.; Bobzin, K.; Lugscheider, E.; Knotek, O.; Maes, M. Superelastic (Cr,Al)N coatings for high end spindle bearings. Surf. Coat. Tech. 2005, 200, 1738-1744.
• Mattox, D.M. Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing, 2nd ed.; William Andrew: Oxford, UK, 2010; ISBN 9780815520375.
• Janicki, M.; Temming, J.; Kauder, K.; Brümmer, A. Simulationsgestützte Entwicklung eines unsynchronisierten Schraubenladers. In (Hrsg.): Motorprozesssimulation und Aufladung II. Haus der Technik Fachbuch Band 83; Pucher, H., Kahrstedt, J., Eds.; Expert-Verlag: Tübingen, Germany, 2007; pp. 146-168.
• Nikolov, A.; Nadler, K.; Brümmer, A. Experimental and theoretical investigation of screw machines as vacuum blowers. In Proceedings of the 7th International Conference on Compressors and their Systems 2011, City University London, UK, 5-6 September 2011; Elsevier Science: Oxford, UK, 2011; pp. 359-374, ISBN 0857095358.
• Nikolov, A.; Brümmer, A. Investigating a Small Oil-Flooded Twin-Screw Expander for Waste-Heat Utilisation in Organic Rankine Cycle Systems. Energies 2017, 10, 869.

タイトルに関連する用語 (4件)： 高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  摩擦特性